三星和台积电已经开始接受5nm订单，没有EUV也能突破5nm？原创

自从人类进入了互联网时代，芯片的地位就被拔升到一个全新的高度。无论是在哪个领域，通信也好、汽车也好，就连军事领域都离不开芯片的存在。可以这么说，芯片就是互联网行业的发展“基石”。地位很高，就跟我们人类的“大脑”一样。所以制造的难度也是可想而知，全世界能掌握制造核心技术的企业也只有寥寥几家。

对一整个互联网时代来说，这么重要的技术，却只是被掌握在一家公司的手中，是很危险的一件事。毕竟现在什么都离不开芯片，而一旦想要封锁一个国家的芯片技术，那么最直接的就是禁止ASML向这个被封锁的国家供货就可以了。这就是市场垄断这种很危险的行为，会被我们国家明令禁止的原因了。

三星和台积电已经开始接受5nm的订单，今年的风险试产和明年的批量生产。我们预计两家公司将在5纳米采用更多的EUV层，三星为12层，台积电为14层。

三星表示他们的5nm工艺密度比7nm提高了25%，性能提升10%或功耗降低20%。据我们所知，三星的7LPP和5LPE之间的差异是6轨单元高度和SDB。这导致密度提高1.33倍。

这与台积电宣布密度提高1.8倍，性能提升15%或功耗降低30%形成鲜明对比。我们最近看到另一位分析师声称三星和台积电将在5纳米具有相似的密度，考虑到这两家公司具有类似的7纳米密度并且台积电宣布比三星更大的密度改进，我们相信台积电在5nm处将比三星具有显着的密度优势。

据了解，作为一款集合了现代最高科技的产物，要想通过复刻EUV来打破ASLM的市场垄断，那难度虽然不是上青天，但也是相差无几了。不过令人没想到的是，日本最近却在这方面传来了好消息。我们都知道对于互联网行业来说很重要的5nm芯片，只能是特定的光刻机能够制造出来。

在芯片代工领域，台积电和三星是实力最强劲的两大巨头。不过，最近几年，台积电的实力要更胜一筹，通过7nm工艺，台积电拿到了苹果、高通、AMD、比特大陆等多家的大订单。而三星自家最新的Exynos 9820处理器，采用的则还是8nm工艺。

需要说明的是，三星的7nm工艺去年10月开始宣布并初步生产，今年年初实现量产。最近三星曝光的Exynos 9825处理器，很有可能就是采用7nm工艺，大概率会用在秋季登场的Note 10上，和采用A13处理器的新iPhone将直接对抗。

根据三星之前公布的制程工艺时间表，在7nm和5nm工艺之间，还会有6nm作为过渡。现在来说，7nm刚刚完成量产，5nm工艺也只是才宣布研发成功，正式量产的时间还没那么快。

极紫外光微影(EUV)技术据称将在5纳米(nm)节点时出现随机缺陷。根据研究人员指出，目前他们正采取一系列的技术来消除这些缺陷，不过，截至目前为止，还没有找到有效的解决方案。

这项消息传出之际，正值格芯(Globalfoundries)、三星(Samsung)和台积电(TSMC)竞相为明年的7nm生产升级其EUV系统至具有高可用性的250W光源。如今，这些随机缺陷的出现显示，针对半导体制造日益增加的成本和复杂性，并不存在任何解决问题的灵丹妙药。

比利时Imec研究机构的图形专家Greg McIntyre在日前于美国加州举办的国际光学工程学会先进微影技术会议(SPIE Advanced Lithography)上表示，最新的EUV扫描仪可以印制出代工厂为7nm所计划的20nm及更大尺寸之关键规格。然而，他们在制作精细线条和电洞的能力还不明确。

Intel 10nm工艺还在苦苦挣扎，台积电和三星已经开始量产7nm，下一步自然就是5nm，台积电近日也首次公开了5nm的部分关键指标，看起来不是很乐观。

明年，台积电的第二代7nm工艺会在部分非关键层面上首次尝试使用EVU极紫外光刻系统，工艺节点从CLN7FF升级为CLN7FF+，号称晶体管密度可因此增加20%，而在同样密度和频率下功耗可降低10%。

台积电5nm(CLN5)将继续使用荷兰ASML Twinscan NXE: 3400 EUV光刻机系统，扩大EUV的使用范围，相比于第一代7nm晶体管密度可猛增80%(相比第二代则是增加50%)。

看起来很厉害，不过能带来的实际频率提升只有15%，而同等密度和频率时功耗也只能降低20%，对比第二代7nm提升就更有限了。

不过台积电还提供了一个名为“极低阈值电压”(ELTV)的可选项，号称能将频率提升幅度增加到25%，但未解释具体是如何做到的。

目前我们只能制造中低端的掩模版，因此，中科院5纳米超高精度激光光刻加工方法的突破，可以进一步提高掩模版的制造水平。并用于晶圆厂生产芯片。

直白点说，两个用途完全不一样。此5纳米，非彼5纳米。“激光5纳米”是制造出生产芯片中用到的配件(掩模版)，“EUV 5纳米”是完全是用于芯片生产。

现实情况，可以有些真的不懂，或者理解不到位。但有些真的就是营销性文章或视频。观众听多了，自然就真的以为是真实的。

譬如，武汉弘芯抵押的光刻机，中芯国际、长江存储、长鑫存储等企业都有，非要说成国内唯一一台7纳米光刻机。

国内某光刻胶生产厂商，购买了一台韩国二手光刻机。非要包装成，我们费了九牛二虎之力，转手得到一台来之不易的光刻机。

现实是这些光刻机并不在禁售范围，之所以购买二手，因为光刻胶厂商没有必要是新机。只要生产的光刻机符合技术要求即可。目前是除EUV光刻机外，其它随便买。