EUV光刻机工厂突发大火,暂无人员损伤

极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

这一年多来，全球半导体产能紧张，台积电等芯片制造公司也在积极扩大产能，光刻机之类的设备很抢手，在这个关键时刻，全球光刻机一哥ASML的工厂发生火灾，目前损失还在评估中。

据报道，ASML公司在德国柏林的工厂突然发生了火灾，目前可以确认没有人员伤亡，但具体的损失情况还不确定。

ASML公司在给媒体发布的声明中指出，评估损失需要几天时间，现在就提出是否影响今年业绩或者就损害索赔等问题还为时尚早。

起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收购了这家公司，后者主要为ASML光刻机制造光学系统，这是光刻机的三大核心部件之一。

2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元(约合386亿元)，毛利率51.7%，净利润17亿欧元(约合126亿元)。官方预计四季度销售额49亿到52亿欧元，毛利率在51%到52%。

ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。

DUV(深紫外)光刻机方面，完成出货1000台ArF(氟化氩浸没式光刻系统)，这距离第一台浸没式光刻机(XT:1700Fi)出货过去了15年。