美国将中国唯一光刻机制造商列为所谓“未经核实名单”

光刻机(lithography)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。生产集成电路的简要步骤：利用模版去除晶圆表面的保护膜。将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。一片晶圆可以制作数十个集成电路，根据模版曝光机分为两种：模版和晶圆大小一样，模版不动。模版和集成电路大小一样，模版随曝光机聚焦部分移动。其中模版随曝光机移动的方式，模版相对曝光机中心位置不变，始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流 。

2月9日，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)在2021年财报中宣称，中国企业东方晶源(Dong Fang JingYuan Electron，DFJY)正在中国积极销售可能(could potentially)侵犯阿斯麦知识产权的产品。而阿斯麦所称的东方晶源关联公司XTAL，曾在2019年被美国法院判定侵犯阿斯麦知识产权。

观察者网随后联系了东方晶源，对方工作人员称暂时不方便回应此事。而阿斯麦中国方面告诉观察者网，此事与XTAL之前的侵权案有关，是年报中的正常披露。阿斯麦正在密切关注东方晶源的动态，目前尚未准备采取法律措施，但如果有确凿证据该公司将诉诸法律。

据阿斯麦财报中披露的信息，该公司在2021年初获悉，一家与XTAL公司有关的公司正在中国积极推销可能侵犯阿斯麦知识产权的产品，2019年XTAL曾因在美国盗取阿斯麦的商业秘密被判定做出赔偿。作为回应，阿斯麦已经告知客户不要协助这家名叫“东方晶源“的中国公司从事此类潜在的侵权行为。阿斯麦还透露，该公司已向中国监管部门告知相关信息，正在密切监测相关情况，并准备在适当的时机采取法律行动。

观察者网查询发现，东方晶源全称为东方晶源微电子科技(北京)有限公司，成立于2014年，总部位于北京亦庄经济技术开发区，专注于集成电路良率管理。亦庄国投曾披露，东方晶源由中国500强企业东方集团投资控股，而东方集团是一家成立于1978年的大型投资控股型民营企业。

从具体业务来看，东方晶源主要产品为纳米级电子束缺陷检测装备(EBI)和关键尺寸量测装备(CD-SEM)、计算光刻产品(OPC)以及微电子设计与制造智能良率优化平台(HPOTM)。该公司称，其产品均为自主研发且处于国内领先水平，可以有效解决国内集成电路产业多个难点。

而阿斯麦官网显示，该公司产品除光刻机之外，也包括用于提高芯片良率和质量的计算光刻，“如果没有计算光刻，芯片制造商就不可能制造出最新的技术节点”。

有资深半导体行业人士告诉观察者网，在光刻过程中，光的衍射以及感光层中的物理和化学效应会使光刻机试图刻出的图像变形，因此需要计算光刻进行校准和优化。简单来说，计算光刻类似EDA中的算法，是一种晶圆厂需要购买的服务，如果曝光图形跟实际掩膜(Mask)有差异，可以通过计算光刻提前修正掩膜确保得到想要的图形。一般来说，如果晶圆厂觉得阿斯麦的计算光刻不够好，也可以选择第三方提供的产品，二者由此便会形成竞争。

在全球半导体公司中，荷兰的ASML公司规模不算顶尖，但它们掌握了主要的光刻机市场，EUV光刻机买到10亿一台都供不应求，业绩红到发紫，这也让ASML管理层拿奖到手软，CEO去年就拿到3500万元的奖励。

根据ASML公司发布的信息，2021年中公司管理层获得了超过2000万欧元的奖励，其中最多的是CEO Peter Wennink和CTO Martin van de Brink，每人拿到了480万欧元的薪酬，比上一年多了30万欧元，总计约合3500万人民币。

CFO Roger Dassen去年的薪酬是380万欧元，与上一年持平，还有其他两位高管分别获得了310万欧元的奖励，比之前增加了20万欧元。

管理层获得重奖跟去年的业绩有关，根据ASML的数据，ASML公司实现净销售额186.11亿欧元，较上一财年增长33%，净利润也从35.54亿欧元涨至58.83亿欧元，全年净订单额达到262.4亿欧元，较去年同期翻了一倍，需求强烈。

2021年中，ASML出货了EUV光刻机总计多达42套，2020年是31套，实现营收63亿美元，算下来平均每套EUV光刻机要1.5亿欧元，折合人民币10.8亿元。

当然，10亿一台的EUV光刻机还不是最贵的，新一代EUV光刻机也开始产生订单了，据说成本高达3亿美元，约合19亿元。