Atonarp Aston Impact 计量平台开始向韩国半导体 FAB 批量出货

北京，2022 年 4 月 6 日 - Atonarp，半导体工艺控制原位实时高灵敏度计量领域的领头企业，在全球范围内正式发布并销售其 Aston 平台。这是 Atonarp 公司全球发展进程中的一座重要里程碑。

Aston 是一款紧凑型质谱仪，可提供准确、实时的工艺化学数据，其分子浓度测量灵敏度可达十亿分之一。这些数据能让半导体制造 FAB 实现高效运行，从而提高产量和吞吐量，为 FAB 运营商带来巨大的经济利益。

随着这一消息的宣布，Atonarp 正向韩国和美国的领先半导体 FAB 和设备制造商交付了 Aston Impact。此外，Atonarp 还向客户交付数十台 Aston ，供客户在其先进工艺中进行评估，以优化其工艺和制造效率。

Atonarp 公司产品营销副总裁 Martin Mason 说：“在分子水平上快速检测、量化并提供可操作的工艺控制数据的能力，对于先进半导体制造工艺来说意义重大。对于一个典型的 FAB 来说，即使吞吐量只增加百分之一，每年也能增加数千万美元的产量。Aston 十分清楚其潜力，在这其中，速度和灵敏度对分子水平的工艺控制效率来说十分重要。”

计量是半导体制造的一个重要部分，在生产设备内测量多种气体的浓度，可以确保满足工艺余量，同时尽量减少浪费。以前的解决方案依赖于光发射光谱测量和残余气体分析仪，但这些传统方法已不能满足当今先进存储器和逻辑工艺所需的速度和灵敏度。相反，Aston 使用创新质谱技术，采用同类最佳传感器，可提供快速的结果和出色的灵敏度，以及抵抗腐蚀性气体和冷凝物所需的坚固性。

Aston 为先进半导体应用提供可操作数据，如原子水平沉积 (ALD) 和 sub-fab 操作等。Aston 灵敏度低于十亿分之平方根赫兹 (9ppb√Hz)，比竞争对手的解决方案高十倍，且不影响收集数据的速度。

Atonarp 正积极开展合作，为半导体领域的新应用以及需要实时、敏感气体分析的应用(如石油和天然气以及冻干法工艺控制)开发 Aston 平台。

Aston 已取得多项认证和资格，包括 EN55032(欧盟)、EN55035(欧盟)、FCC part 15(美国)、ICES-003(加拿大)、VCCI CISPR-32(日本)、BSMI(中国台湾)、KC EMC(韩国)的 EMI/EMC 标准。凭借这些认证，Aston 现已面向全球客户批量发货。

Atonarp 与韩国 ATI 公司合作，为该地区客户提供蚀刻、CVD、空间 ALD 和 Sub-fab 应用的综合解决方案。