11家沈阳IC企业展示科技新方向

“抱团”参加制博会亮出百款新产品

9月14日，第十二届中国国际装备制造业博览会（简称制博会）W1馆入门处一个展馆——沈阳国家IC装备高新技术产业化基地展区，吸引了许多专业人士的目光。在300多平方米的展区内，包括沈阳新松机器人、沈阳芯源微电子设备、沈阳富创精密设备、沈阳仪表科学院有限公司等11家IC装备骨干企业携带百余款新产品“抱团”亮相，为制博会增添了浓浓的科技色彩。

在新松公司展台前，一个2米多高的机器人正在搬运玻璃，随着机器人“爪子”的上下左右摆动工作，1块1米见方的玻璃板被一台搬运机器人自如地“玩转”于股掌之中。展会上，新松公司展示了3款产品，除了这款搬运机器人，还有洁净类机器人两款产品，代表了当今中国机器人发展水平。

沈阳圣仁电子科技有限公司展出了6款具有自主知识产权全手工制作的探针卡，均为国内首创产品。探针卡是用于检测芯片的液晶面板，属于一种工业耗材。各类电子芯片的检测都离不开它。沈阳中科博微自动化技术有限公司今年是第一次参与国内展览，在现场，工作人员展示了其自主研发的锅炉专用控制系统，这种控制系统用在燃气锅炉上，最大特点是能够根据环境的变化控制锅炉的温度。

在沈阳芯源微电子设备有限公司展台，一台新型的匀胶显影仪吸引了一群观众。工作人员介绍，匀胶显影仪是为芯片进行涂胶和曝光的设备，是电子芯片生产产业链中不可缺少的一个环节。沈阳仪表科学研究院有限公司也拿出了自己的最新产品——ZSH508自动砂轮划片机，用于切割半导体元件、晶圆、硅片等，是半导体软件制造产业中重要的生产设备。

“300平方米展台，尽管只占本次制博会展览10万平方米展台非常小的部分，却代表着产业发展方向，是提升沈阳装备制造业的重要力量。”参观完沈阳国家IC装备高新技术产业化基地展区后，一位中科院沈阳自动化研究所的老专家深有感触地说。