MEMS引领行动感测新世界

曾几何时，任谁也没料想到智慧手机与平板电脑的行动装置狂潮会如此汹涌，使得威风已久的PC产业销售量节节败退。传统的单纯收发电话及SMS简讯功能对于现代人而言不再是最重要的功能，取而代之的是数以万计的行动Apps才是最令使用者倾心。加上，「提升使用者的使用体验」逐渐成为行动装置设备设计的重要趋势，为了要让行动装置设备拥有更多的创新功能，MEMS（Micro ElectroMechanical System，MEMS）微机电系统可说是扮演着相当重要的角色。


附图 : MEMS引领行动感测新世界（图/www.nsc.gov.tw） BigPic:400x268
从近期三星所发表的Galaxy S4智慧手机来看，就能窥知手机大厂除了在功能创新度上比拚之外，「该如何与人类生活更加贴近」更是一大重点，使用者仅需透过智慧手机内建的温度感测元件，便得以即时监测气温变化，以及搭配专属的心跳脉搏测量腕带套件，就能即时将所测得的数据回传至手机进行数据分析，再再显示生活保健的相关功能开始导入到智慧手机。

举凡从苹果的iPhone（采用MEMS加速器），直至任天堂Wii（采用MEMS三轴加速器）、XBOX Kinect都是使用了大量MEMS微机电系统，以便赋予装置具备环境感知的功能。所谓的MEMS微机电系统是采用半导体制程技术，整合电子及机械功能制作而成的微型装置，简单来说MEMS就像是人类的五官，拥有感测、处理或致动的功能，将两个或多个电子、机械、光学、磁学或其他性质整合到一个单一或多晶片上。

进而在晶片上创造出声学、惯性和射频系统，能够感测外在的变化，以及针对系统中包括速度、震动、冲击、倾斜、旋转五种动作进行感测。MEMS微机电系统目前所采用的制程技术大致与半导体相同（CMOS制程），其特色为价格较便宜，同时兼具轻薄化。随消费性电子之快速崛起，MEMS成为行动装置中的重要元件，加上有越来越多穿戴式智慧装置陆续问世，相信未来随处可见智慧感测。