【SEMICON China 2011】沈阳国家IC装备产业基地获SEMI China颁发的“最佳组织奖”

3月15日SEMICON China 2011展会的第一天，SEMI全球半导体业务总裁Jonathan Davis为沈阳国家IC装备产业基地颁发了SEMI China授予的“最佳组织奖”，沈阳市高新区副主任孙维华代表产业基地接受了该奖项。

沈阳国家IC装备产业基地已连续5年参展SEMICON China展会，今年，沈阳市东陵区（浑南新区）人民政府更是组织12家半导体装备制造企业组成史上规模最大的沈阳IC装备产业基地展团，第五次参展SEMICON CHINA。孙维华表示，“?2011年是国家‘十二五’建设的开局之年，市场和政策都有明确的信号显示我国的半导体产业势必将驶入新一轮的高速发展道路。在这样的产业环境下，沈阳国家IC装备产业基地将着力将优势产品做大做强，打造龙头企业，积极参与国际竞争；在大力承接零部件加工外包业务的同时开展备件供应业务和二手设备的翻新业务，致力将业务拓展到太阳能电池、LED、平板显示器等领域，并最终形成设备成套能力。”

沈阳IC装备产业基地建设与发展已进入第十个年头。经过10年的发展，沈阳IC装备产业基地已经从最初的2家IC装备企业发展到了90余家，骨干企业达到37家，先后共有6家骨干企业承担了10项国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项课题。基地拥有国内唯一专业从事IC装备企业孵化的国家级孵化器及国内首个面向集成电路装备企业提供集约式公共技术服务的国家级中小企业服务示范平台。基地企业自主研发出8-12英吋匀胶显影设备、6英吋PECVD镀膜设备和8-12英吋划片设备三大类整机，以及超洁净机械手、罗茨干泵、真空气动闸板阀、SMIF系统、晶片传输设备等关键单元部件和子系统21种产品，产品国产化率平均达到70%以上，申报专利300余项。基地主导产品已经在国内外的集成电路、太阳能、数字医疗等产业发挥了重要作用。2010年沈阳IC装备产业基地被科技部认定为“沈阳国家集成电路装备高新技术产业化基地”，这是目前科技部认定的国内唯一的国家集成电路装备产业化基地。?

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