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[导读]18寸晶圆制造设备与技术发展将加速。为助力晶圆代工、IC设计商降低生产成本,包括Lam Research、应用材料(Applied Materials)、TEL(Tokyo Electron)及科磊(KLA-Tencor)等半导体设备开发商,已陆续启动18寸晶圆制造方

18寸晶圆制造设备与技术发展将加速。为助力晶圆代工、IC设计商降低生产成本,包括Lam Research、应用材料(Applied Materials)、TEL(Tokyo Electron)及科磊(KLA-Tencor)等半导体设备开发商,已陆续启动18寸晶圆制造方案布局。其中,其中,科磊已率先量产全球首部18寸晶圆缺陷检测系统--Surfscan SP3 450,抢攻18寸晶圆市场先“机”。

TEL副总裁暨企业行销总经理关口章久认为,18寸晶圆生产设备与技术研发开销庞大,未来仅有财力雄厚的半导体大厂才能出线。
科磊450mm发展计划资深总监Hubert Altendorfer强调,SP3 450负责18寸晶圆第一道检测过程,符合市场对20奈米(nm)以下制程缺陷和晶圆表面品质特性检测需求;同时,具备12及18寸晶圆同步乘载共用结构,将可提高客户的生产效益与灵活度。

至于TEL则以提升18寸晶圆制造效率与降低成本为目标,加紧研发开放性共通生产平台。TEL副总裁暨企业行销总经理关口章久(Akihisa Sekiguchi)指出,此一概念性平台将透过TEL标准连接介面,紧密扣连18寸晶圆各段制程设备;由于采模组化设计方式,正式量产后预估仅需1个月时间就能组装完成。此将提供晶圆代工业者较佳的产能扩充、制作流程变动弹性,并能快速投产与减轻投资负担,更快达成获利目标。

随着设备端产品陆续突破,18寸晶圆发展已跨出重要的第一步;现阶段,国际半导体设备材料产业协会(SEMI)、全球18寸晶圆推动联盟(G450C)正分头部署通用标准与制程技术,并揭露2013~2018年的阶段性目标,已吸引大量热钱涌入。

然而,应用材料矽晶系统部门副总裁Kirk Hasserjian认为,18寸晶圆影响层面甚广,且相关设备、技术投入金额相当庞大,除须解决技术与创新应用等问题外,业者间亦须协同合作并共同分摊研发成本。

Hasserjian强调,未来,半导体设备厂、晶片商及晶圆代工业者须从研发设计阶段,就展开技术与资金合作,再回头改良制程工具,从而优化晶圆厂配置(Fab Layout),满足晶片商对专属产品效能与品质的最终要求。

关口章久进一步分析,距离2018年实现18寸晶圆量产的目标还有数年,这段期间的投资风险与不确定性,将促进晶片商、设备商、晶圆厂和标准协会组织之间的频繁沟通,借以催生最符合经济效益的产业分工合作与成本摊提模式。

事实上,即使全球经济状况诡谲,但着眼于20奈米以下制程与18寸晶圆的市场需求,半导体产业资本支出仍将维持稳定成长。据SEMI调查报告指出,2012年晶圆厂总支出(含晶圆厂建设和设备采购、维护成本)约在590~600亿美元,与2011年持平;但2013年则可望成长2~5% 。预估2016年后,IDM晶圆代工与封测业者,将大举安装18寸晶圆设备,整体资本支出金额,将再攀新高峰。



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