台积电: 带着上下游，一起绿起来

12月初，在冷气团来袭的13度低温下，台积电董事长张忠谋亲自出席位在台中科学园区的晶圆15厂第三期动土典礼。这座拥有20奈米制程能力的超大型12寸晶圆厂，除了将提供与三星正面对决的关键产能，导入多项污染防治设施与绿色节能概念的设计，也是台积电落实企业社会责任的重要作为。

摊开台积电这几年来在绿色作为方面的表现，从工厂绿建筑、绿色供应链、绿色课程或论坛，甚至正在擘画的绿色科技园区等，台积电皆投入了大量的人力与物力，在如此庞大的组织里，积极整合跨部门资源来推动。

虽然是高科技产业，但在晶圆制造过程中，其实有相当程度的耗能产生，因此在15厂动土兴建之前，台积电早已拿下多项台湾EEWH钻石级及美国LEED黄金级绿建筑认证。其中特色包括：打造厂区周围生态水池，在旁边种植原生地植物；可大幅吸热、种了许多植被的绿屋顶；设置良好的雨水回收系统至地底下，进行水循环再利用；太阳能与风力的发电供给；室内绿美化的大型植生墙；以及每个员工座位上皆有自己的灯源开关，不在座位上就能把灯关掉等。

因为这些努力，张忠谋在2011年9月还获颁国际半导体设备材料产业协会（SEMI）之半导体产业绿色管理Akira Inoue奖的肯定。SEMI方面指出，台积电在去年产能屡创历史新高的情形下，仍顺利达成减少WSC温室气体（PFC）自愿减量的目标。

台积电新厂规划暨工程处处长庄子寿表示，晶圆制程常需要用到大量水资源进行清洗化学药剂及机械研磨的制程，另外为了确保室内恒温，公用空调系统也需要大量的水来协助循环，算起来，平均每厂每日的水用量达数千吨之多。因此对台积电来说，能够减少耗能，将过程中产生的废水再利用，就能降低一部分的成本。这也就意味着获利的增加。

减少耗能就是增加获利
之所以能做到废水回收率超过90％，台积电厉害在一开始便将制程废水从源头，也就是无尘室的设备机台去进行分流。总共收集了16种水流经各自独立管线，运送至不同桶槽储存，再以物理或化学方式一道道净化，分离出水中杂质。在这些废水里因为含有许多废酸，台积电除了可将里头九种高浓度的酸二次处理后卖掉赚钱外，部分也可拿来再循环利用。

庄子寿骄傲地说，这可是台积电工程师靠着十几年经验，慢慢琢磨出来的方法。「刚开始我们找厂商进来帮我们做水质分析，提出改善，但因为有些水处理完了得再回到制程里去，所以我们并非只是处理至一般ppm（污染单位分类，为一百万分之一）排放标准而已，甚至处理到ppb（十亿分之一）及ppt（一兆分之一）的最高等级，让污染物降至极低。」到目前为止，台积电一年就可省下3466万吨的用水量，换算下来，相当于整座新竹宝山水库的蓄水量，全年竟能省下高达4亿元的水费。

在省能方面，无尘室废气回收则是台积电在盖绿建筑时的另一番创新。因为在晶圆生产环境里，对空气品质的要求为高度纯净，因此从无尘室排放出来的空气经过净化后，其实仍可使用在一般的室内环境。
因此，台积电同样参照了美国绿建筑标准的要求，在十四厂第三期中已规划将这些废气回收给一般化学房使用，未来可望成为无尘室空气标准设计之一。庄子寿认为，业界可多发展废气回收技术，甚至比照水回收机制，订定废气回收的目标。

另外，台积电采用热回收系统，将12度C冰水主机产生的废热回收，供35度C的温水系统使用，免除传统热水锅炉的设置及耗能，不需固定维修费用，平均一个厂每年可省下3200万度，约5600多万元的电费。藉由热回收，工厂内部排出至户外的空气也不会过热，对周遭环境来说确实是件好事。

而加装变频器也可减少室内的能源消耗，因为可取代传统的马达驱动，依照当时制程冷却水需求的量让帮浦运转。意思是，要用多少水就靠变频器打多少帮浦即可。在全部的省电效果里，台积电靠着导入变频器的安装，每年可固定省下13％的电力。

打造绿色供应链
至于室内空调的双温冰水主机系统，则是经过不断改良，最后设计成9度到12度的标准。因无尘室需要严格管控湿度，9度冰机主要可用来除湿，含水量高的时候可适时发挥作用，12度冰机则主要是拿来调整水的温度，可把热水冷却再输送到制程使用。透过此双温控制，一个厂可年省电力将近1000万度。

「对于绿色环保，我们不只规范自己，也严格要求我们的供应商，如果它们的东西出了问题，具有污染性，搞不好连带会使得我们的产品不能卖，或是违反一些国际法规，」台积电风险管理暨工安环保卫生处副处长许芳铭表示。
身为采购者的台积电属于中间角色，上游有原物
料供应商，下游则有封测厂。许芳铭指出，台积电这三年来不断要求供应商要揭露如碳盘查、碳足迹及有害物质等数据，像缴交作业报告一样，以做为评估年度供应商的标准之一。

例如每年台积电会在国际供应商大会上用问卷做检讨，看看这些供应商到底达成了哪些项目，并会有10％左右的稽核占比，「因为秉持着企业社会责任，所以当班长的就要负责管好同学！」许芳铭说。(摄影／林衍亿)