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[导读]在半导体和平面显示器产业居领导地位的电子化学品供应商安智(AZ)电子材料与IBM签署了一项协议,开发新世代的微影技术,一种以块状聚合物为基础的材料,可以应用在与传统的微影及半导体制程设备相容的定向自组装制程

半导体和平面显示器产业居领导地位的电子化学品供应商安智(AZ)电子材料与IBM签署了一项协议,开发新世代的微影技术,一种以块状聚合物为基础的材料,可以应用在与传统的微影及半导体制程设备相容的定向自组装制程。

安智执行长Geoff Wild表示,与IBM-Almaden研发团队的合作,发展替代的定义图案解决方案;IBM在这个领域的先驱地位,为AZ-IBM这项未来应用于半导体制造技术的DSA制程的成功,奠定了深厚的技术基础。

IBM研发的副总裁T.C.陈说,当半导体产业朝向克服缩小设计节点的既有挑战,导致了设计、制程开发和光罩成本的上升;与安智的合作将使IBM能够发展新的突破性及创新性的微影技术,让整体半导体产业发展持续前进,同时兼顾降低生产设备及制程的总成本。

安智的技术长Ralph Dammel表示,电子产业持续专注于改善操作成本,其中一个方式是使用智慧型化学品来扩展和增强用于定义图案的半导体设备功能;DSA技术正是朝此方向迈进,这也正是安智企盼建构在IBM多年DSA经验基础上,使之能成为这项材料的首要供应商。





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