[导读]台湾台积电(Taiwan Semiconductor Manufacturing,TSMC)公开了采用TSV(硅通孔)三维积层半导体芯片的LSI量产化措施(演讲序号:2.1)。该公司采用TSV、再布线层以及微焊点(Microbump)等要素技术,制作了三维积层
台湾台积电(Taiwan Semiconductor Manufacturing,TSMC)公开了采用TSV(硅通孔)三维积层半导体芯片的LSI量产化措施(演讲序号:2.1)。该公司采用TSV、再布线层以及微焊点(Microbump)等要素技术,制作了三维积层有半导体芯片和300mm晶圆的模块,并评测了三维积层技术对元件性能和可靠性的影响。台积电有在28nm以下工艺量产三维LSI的意向:“我们以现有制造技术实现了三维LSI,该成果使我们朝着量产迈出了一大步”。如果快的话,很有可能在近1~2年内开始量产。
台积电首先指出,作为三维LSI的量产课题,TSV技术、设计技术、测试方法以及热量和机械强度的确保这四个方面是很重要的。其中,就此论文的主题TSV技术,介绍了在(1)TSV的形成,(2)晶圆的薄化和薄型晶圆的移送,(3)在硅晶圆两面以低温形成再布线层的技术,(4)微焊点的形成以及(5)晶圆和芯片的接合等核心技术上的措施。
例如,关于(1),台积电介绍了具有平滑侧壁的垂直贯通孔的开孔技术,以及抑制嵌入贯通孔的铜从孔的最上部泄漏到外面现象(Cu extrusion)的技术等。前者通过改良蚀刻方法而实现。通过改良贯通孔的形状,抑制了铜经由高温工艺从贯通孔向外部扩散的现象,TSV间的泄漏电流比原来降低了几位数。
至于后者,台积电在分析该现象如何依赖于镀铜条件、晶粒(Grain)大小以及退火条件等基础上,开发出了对策技术。据称,在采取该对策之前,在300mm晶圆上集成的芯片,有20%由于从贯通孔漏出来的铜的影响,CMOS的布线层会受到损伤。该公司开发的技术通过改善镀铜条件等,几乎可以完全消除这种损伤。
台积电此次用实际元器件评测了这些三维积层技术的有效性。具体为,采用TSV、再布线层以及微焊点等,在集成有40~28nm工艺CMOS的300mm晶圆上三维积层尺寸9mm×2.4mm的半导体芯片。制成的TSV间距为30μm,连接晶圆和芯片的微焊点的间距为40μm。这些要素技术均是以台积电拥有的现有半导体制造技术实现的。(记者:大下 淳一)
以多种尺寸和配置而形成的TSV和再布线层(点击放大)
连接300mm晶圆和半导体芯片(点击放大)
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据业内消息,台积电目前正在规划在日本扩充产能,或将生产先进制程工艺,除了现在熊本县的工厂之外,日本政府也欢迎台积电在日本其他地方进行进一步规划。虽然台积电目前没有做出明确的表态,但是正在研究可行性。
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早前,就有消息称台积电或将在9月份正式量产3nm工艺,预计于第三季下旬投片量将会有一个大幅度的拉升,而第四季度的投片量会达到上千的水准并且正式进入量产阶段。
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据业内信息报道,全球晶圆代工龙头台积电继之前将3nm制程工艺的量产时间由外界预计的9月底推迟到第四季度后,再一次将其延后一个季度,预计将于明年才能量产。
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周四美股交易时段,受到“台积电预期明年半导体行业可能衰退”的消息影响,包括英伟达、英特尔、阿斯麦等头部公司均以大跌开盘,但在随后两个小时内纷纷暴力拉涨,多家千亿美元市值的巨头较开盘低点向上涨幅竟能达到10%。
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据业内消息,俄罗斯芯片设计厂商Baikal Electronics最新设计完成的48核的服务器处理器S1000将由台积电代工,但可惜的是,鉴于目前美国欧盟对俄罗斯的芯片制裁政策,大概率会导致S1000芯片胎死腹中。
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据外媒TECHPOWERUP报道,中国台湾一直在考虑将其芯片生产扩展到其他国家已不是什么秘密,台积电已同意在亚利桑那州建厂,同时欧盟、日本、甚至俄罗斯都在传出正与台积电洽谈建厂。
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12 月 15 日消息,英特尔 CEO 基辛格近日被曝光访问台积电,敲定 3 纳米代工产能。此外,digitimes 放出了一张来源于彭博社的数据,曝光了台积电前 10 大客户营收贡献占比。
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台媒报道称,市场传出联发科拿下苹果订单,最快显现的应该是苹果针对当红的智能音箱趋势,所打造的第一款产品HomePod所需WiFi芯片,并以ASIC方向量身订做,有机会成为明年第二代产品的供货商。
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台积电近年积极扩大投资,继去年资本支出金额创下101.9亿美元历史新高纪录后,今年资本支出将持续维持100亿美元左右规模。因应产能持续扩增,台积电预计今年将招募上千名员工,增幅将与往年类似。
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(全球TMT2022年10月14日讯)近期,小米生态链企业未来居面向高星酒店及连锁酒店推出有线一体式RCU(金属壳版),该产品由未来居独立自主研发,是一款系统化的高性能、高集成、低消耗的智能网关设备。RCU(客房智能控...
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10 月 3 日消息,据台湾地区经济日报报道,拥有先进制程优势的台积电,也在积极布局第三代半导体,与联电、世界先进、力积电等厂商竞争。
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10月5日电,据华尔街日报报道,苹果公司公布的供应商名单显示,截至2021年9月,在苹果公布的超过180家供应商中,有48家在美国设有生产设施,高于一年前的25家。加州有30多个苹果供应链生产相关的设施,而一年前只有不到...
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