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大日本网屏制造投产150mm晶圆外观检测装置
时间：2010-12-07 06:14:00
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[导读]大日本网屏制造（DNS）开发出了晶圆外观检测装置“ZI-2000”。在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕张Messe会展中心）上展出的同时，还将从2010年12月开始销售。
DNS为了强化LED、太阳能电池、充电电
大日本网屏制造（DNS）开发出了晶圆外观检测装置“ZI-2000”。在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕张Messe会展中心）上展出的同时，还将从2010年12月开始销售。
DNS为了强化LED、太阳能电池、充电电池和功率半导体等“绿色器件”领域，强化了制造这些器件的装置开发项目“FRONTIER”。作为其中的一环，该公司曾于2010年6月发布了适合制造LED和功率半导体使用的小口径晶圆的批量晶圆清洗装置“Compact Wet Station CW-1500”。
作为第二款产品，DNS此次又推出了晶圆外观检测装置“ZI-2000”。该装置主要面向多用于绿色器件的150mm晶圆。特点是，无论芯片面积和每枚晶圆的芯片数是多少，每枚晶圆的检测时间可以控制在1分钟以内。检测方式方面，采用对比晶圆上的图案的方式。该方式采用了已用于该公司的印刷基板检测装置“PI系列”的比较算法。另外，采用减少了功能的简单装置设计，提高了性价比。（记者：长广 恭明）
DNS为了强化LED、太阳能电池、充电电池和功率半导体等“绿色器件”领域，强化了制造这些器件的装置开发项目“FRONTIER”。作为其中的一环，该公司曾于2010年6月发布了适合制造LED和功率半导体使用的小口径晶圆的批量晶圆清洗装置“Compact Wet Station CW-1500”。
作为第二款产品，DNS此次又推出了晶圆外观检测装置“ZI-2000”。该装置主要面向多用于绿色器件的150mm晶圆。特点是，无论芯片面积和每枚晶圆的芯片数是多少，每枚晶圆的检测时间可以控制在1分钟以内。检测方式方面，采用对比晶圆上的图案的方式。该方式采用了已用于该公司的印刷基板检测装置“PI系列”的比较算法。另外，采用减少了功能的简单装置设计，提高了性价比。（记者：长广 恭明）
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