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[导读]「我们用新的技术让LKK的机台,达到最先进的制程技术效能!」清华大学材料科学工程系助理教授阙郁伦领导研究团队,参与台美跨国合作计划,领先全球成功把化合物半导体整合于现阶段硅晶圆制程技术,利用二百奈米骨

「我们用新的技术让LKK的机台,达到最先进的制程技术效能!」清华大学材料科学工程系助理教授阙郁伦领导研究团队,参与台美跨国合作计划,领先全球成功把化合物半导体整合于现阶段硅晶圆制程技术,利用二百奈米骨董级机台,将现有半导体生产技术从四十奈米推进到仍处于先期研究的廿二奈米制程。

清华大学校长陈力俊推崇阙郁伦,「阙教授是由清大材料系从大学部到博士班培育的本土教授。阙教授做研究很有创意,是清大材料系创立廿几年来,第一次聘请系上毕业的学生当教授。」他念博士班时,获国科会「千里马计划」补助,到美国乔治亚理工学院进修;取得博士学位后,又到加州大学柏克莱分校做研究。

清华大学研发长果尚志强调,这项研究最大突破是将两种不同材料结合在一起,用非常简单和便宜的方法,把化合物半导体(砷化铟)转移到硅基基板上,取代传统的硅晶圆。阙郁伦指出,硅基半导利用电子传输,化合物半导体则是利用光子传输,速率比电子快一百倍以上,「各种三C产品未来若利用我们研发的高效能光电半导体当材料,不但指令周期提高,储存容量明显提升,制程简单,成本大幅降低。」

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