NEC等发布基于喷墨法的碳纳米管FET成果：“水基液滴材料较佳”

由NEC、产业技术综合研究所和东京大学组成的联合研究小组发布了以喷墨法试制的碳纳米管FET相关研究成果。当碳纳米管溶剂使用水时，绘图精度提高，而且还获得了较高的FET特性。该研究小组在“第57届应用物理学相关联合演讲会”（东海大学湘南校区，2010年3月17～20日）上公布了该研究成果（演讲序号：19p-TE-10）。

NEC等以用喷墨法在树脂底板等上制作碳纳米管FET为目标，取得了碳纳米管液滴材料研究的进展。在采用喷墨法喷出液滴时，比采用分配器（Dispenser）等时“对液滴材料的特性的要求提高”（NEC）。具体为，要求其粘度3～10cps、表面张力为30～40mN/m。

NEC等使用将碳纳米管作为溶质的各种液滴材料，进行了喷墨工艺的研究。比较水和多种有机溶剂后发现，目前用水作溶剂时可以获得最出色的绘图特性。

在水中加入了10ppm半导体比例为95％的碳纳米管，以及100ppm乙二醇（Ethylene Glycol）类表面活性剂的液滴材料，可以高精度绘制线宽70μm的图案。以该材料形成通道的FET特性，载流子迁移率为5.1cm2/Vs，开关电流比为9.7×103，两指标均比较好。通道长度约为100μm，栅极、源极和漏极各电极均采用蒸镀法镀金（Au），栅极绝缘膜采用了基于旋压覆盖法形成的聚酰亚氨。

NEC等今后将优化液滴材料构成及提高碳纳米管密度等。该公司设想基于喷墨法制作的碳纳米管FET的用途为：显示器用传感器、信号线驱动IC以及RFID标签等。（记者：大下 淳一）