“中国智造”高亮度LED芯片生产关键设备MOCVD下线

我国国产的代表国际尖端水平的高亮度LED芯片生产关键设备MOCVD（金属有机化学气相沉积设备）在正泰集团上海张江理想能源设备有限公司6日成功下线，打破了该领域长期被欧美企业垄断的局面，国内LED生产成本有望显著下降。
MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备，因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因，市场主要被欧美企业所垄断。
近年来，随着高亮度LED在户外显示、液晶面板背光、汽车应用等领域渗透率的不断提高，特别是半导体照明市场的启动，对量产型MOCVD设备的需求呈现出爆发性的增长，全球年需求达数百台、市场规模数十亿美元。
我国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就，产品国产化比例显著提升，但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口，生产成本居高不下，严重制约着LED产业的发展。因此开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备是海峡两岸LED外延芯片企业的迫切要求。
2010年9月，理想能源启动MOCVD项目，在两年时间里，理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备，并完成了第一代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装，成功地实现GaN基LED外延片的发光。
经过设备原型机近1年的运行证明其性能达到预定指标，于2012年5月通过上海市科委的验收。依据工艺验证结果和客户反馈，在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备，单腔一次可生产84片2英寸外延片，超过主流进口设备。
量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升，最适合商业量产，该产品已申请20项国内外专利。