辽沈地区半导体装备产业强势崛起

半导体装备制造产业是国民经济的战略性和先导性产业，10余年间，在国家增强自主创新能力和振兴东北老工业基地等战略方针的引导下，辽宁半导体装备制造产业以沈阳为中心实现了从无到有、从小到大、由弱到强的历史性转变：建成了国内首个IC装备控制软件平台和IC装备专业孵化器，攻克了多个制约我国半导体设备的生产工艺和关键技术，创造了300余项科研成果，成功研制出6-12英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、匀胶显影、单片湿法刻蚀和凸点封装喷涂胶等系列整机设备以及300mm IC生产线自动物料搬运系统、直接驱动真空（机械）手、IC生产线用罗茨干泵等一批关键零部件产品，多个产品填补国内空白并成功实现产业化，培育和引进了一批优势骨干企业。沈阳IC装备产业园2009年被科技部批准为国家集成电路装备高新技术产业化基地，成为我国三大半导体装备产业基地之一。

伴随着辽宁地区装备制造产业的日趋成熟，辽宁面临着全球经济一体化形势下的更激烈更残酷的市场竞争。要想进一步促进辽宁装备制造产业的快速发展，就必须把企业紧密的团结起来，打造产业集群，形成上下游产业链，通过资源互补和合作开发实现联合创新，因此，建立产业技术创新联盟无疑成为顺应时代发展的必然选择。自去年开展国家技术创新工程试点工作以来，根据科技部批复的《国家技术创新工程辽宁省试点工作方案》任务要求，辽宁省积极推进省级产业技术创新战略联盟试点构建工作。目前，辽宁省级联盟试点总数已达16家，其中，半导体产业联盟的成立，对半导体产业的发展起到了非常重要的推动作用。

2010年12月，在辽宁省委、省政府和辽宁省科技厅的强力推动下，辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟正式成立。中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、沈阳新松机器人自动化股份有限公司、沈阳芯源微电子设备有限公司、沈阳中科博微自动化技术有限公司、沈阳富创精密设备有限公司、中国科学院沈阳分院、东北大学、沈阳工业大学等19家辽沈地区半导体装备企业、大学和研究所共同签署了联盟协议。

一年来，在辽宁省委、省政府的正确领导下，辽宁省科技厅等部门的大力支持下，辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟将以沈阳为中心的辽宁众多半导体装备制造企业紧密团结在一起，联手进行关键技术攻关，合力承担了10项国家科技重大专项极大规模集成电路制造技术及成套工艺项目，共同开拓国内外市场，形成了上下游紧密连接的产业链条。全国首台12英寸PECVD设备、TRACK设备，首块国产光刻设备殷钢主基板等一批整机设备和关键零部件相继在沈阳出厂。

作为新中国装备制造业发展的摇篮，辽宁在发展装备制造产业上拥有良好的产业基础和科技优势，沈阳拥有高等院校、科研机构近百所，拥有与半导体装备产业直接相关的国家级工程（技术）研究中心、工程实验室5个，省级工程（技术）研究中心、重点实验室7个，在电子、机械等领域更具有传统优势，为沈阳的半导体装备制造产业提供了充沛的人才补给。

2004年，沈阳建立了全国第一个IC装备产业制造基地。2005年，沈阳建设全国惟一的IC装备专业孵化器，成立了国内首个IC专业精密零部件加工中心，设立了零部件精密加工、检测及净化等公共技术服务平台，为创新研发和产品制造提供公共技术服务和零部件配套服务，也为发展中小企业、培育后备力量打造了良好的发展环境。在全国范围内，沈阳已经与上海、北京形成各具特色、相互支撑、相互配套的三足鼎立之势。

沈阳中科博微自动化技术有限公司拥有技术水平一流的研发队伍，其自主研发的 NCS-3000 系列全分布式工业控制系统曾获得中国科学院科技进步奖一等奖和国家科技进步奖二等奖。

沈阳中科仪公司基于自身在真空技术、精密技术加工等方面的雄厚技术储备和人才优势自主研发生产的罗茨干泵产品填补国内空白，达到国内领先、国际先进水平；素有中国机器人之父之称的沈阳新松一直引领机器人产业的发展，建有中国最大的机器人产业基地。

在联盟的带动下，一批国际先进、国内领先并能打破国外垄断的关键设备在沈阳实现了 一站式生产。创新产品在市场上的竞争力依赖于整个产业链的竞争力，我们既要促进联盟成员缩短研发周期，同时通过联合采购和共享基础设施降低成本，集中力量加快产品进入市场，进而促进整个产业健康发展。辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟理事会秘书长郑广文表示。

沈阳芯源公司生产的8英寸0.25微米匀胶显影设备，国产化率达到70％以上，成本降低超过20％，填补了国内空白，整机技术水平达到国际先进水平。使我国匀胶显影技术提升了3个产品代，与国际先进技术差距缩短了15年。

短短一年的时间，辽沈地区的19家企业、大学和科研院所共同见证了辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟的成长及其发挥的重要作用，产学研用合作不断升级，企业创新能力不断提升，承担的国家科技重大专项极大规模集成电路制造技术及成套工艺进展顺利，产业链条更加完善，产业配套更加紧凑，市场空间更加广阔，辽宁半导体装备产业呈现出快速崛起之势。

据悉，沈阳市正在研究制定沈阳半导体产业园发展规划，沈阳市浑南新区副区长裴希岩表示，沈阳半导体产业园是集生产制造、研究开发、人才培养、贸易和技术服务等为一体的，国际先进、国内一流的产业集聚区，是代表国内外半导体技术及产业发展方向的技术创新和产业化示范区，是整合各种资源优势、参与国际分工、承接先进生产制造技术的试验区。

未来，辽宁半导体装备制造产业在辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟的推动下，将进一步提升东北老工业基地的装备制造水平和我国半导体装备制造产业的自主创新能力，促进我国先进装备制造业的快速发展，并带动关联产业的繁荣兴旺，为我国迈入半导体装备强国做出更大贡献。