[导读]奥林巴斯将于2006年1月5日推出共焦扫描红外激光显微镜（ConfocalLaserScanningMicroscope）“LEXTOLS3000-IR”，能够对FCB（FlipChipBonding，倒装焊接）后的IC芯片图案及其背面，以及MEMS内部结构进行详细观察。同时
奥林巴斯将于2006年1月5日推出共焦扫描红外激光显微镜（ConfocalLaserScanningMicroscope）“LEXTOLS3000-IR”，能够对FCB（FlipChipBonding，倒装焊接）后的IC芯片图案及其背面，以及MEMS内部结构进行详细观察。同时还可用作SiP（系统级封装）技术的无损检测工具。含税价为1207万5000日元。
利用老式红外显微镜对IC芯片的背面等进行观察时，根据芯片背面的研磨状态，外部可见光会因芯片表面而发生散射，因而不易进行观察。而LEXTOLS3000-IR由于使用了共焦扫描光学系统，因此能够清楚地观察到芯片背面聚焦的位置。平面显示分辨率为1024
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