掩模版制造考验中国洁净室设计建造水平

目前，我国洁净厂房的整体发展速度远远低于欧美国家，特别是设计、建造技术还存在很大的差距。电子行业洁净厂房的建设虽然已经发展到了一个全新的时代，但目前仍不得不面临技术水平要求相对粗放，设计、施工周期相对紧迫的现状。这使得精品工程少，能够做精品工程的企业更少，许多企业都在追求利益最大化，工程质量参差不齐。因此，越是规范的企业所承受的压力越大。

在电子行业，规范、精细化的要求将渗透到企业的每一个环节，同时对洁净厂房的建设要求也会越来越高。净化企业很难仅仅依靠价格优势、施工速度占领市场，而是要靠新技术和施工综合管理水平赢得市场份额。只有技术超前、质量过关的净化企业才能满足标准。同时，国内企业还必须拥有自主知识产权，以应对外国企业的竞争。

我国电子信息产业将持续发展，国内企业必须做好依靠精品工程获取利润的准备。由碧海永乐设计并建造的清溢TFT-LCD掩模版项目就是最好的例证。该项目洁净室空气洁净度等级为1级(美联邦标准FS209，相当于国际标准ISO3级)和10级(美联邦标准FS209，相当于国际标准ISO4级)，且面积达到800平方米。该工程不仅洁净度要求较高，同时对温度、相对湿度、防微振、防静电等相关参数的要求也远远超出一般设计要求，对设计人员的设计水平是一个严峻的挑战。

为了满足高级别洁净度的要求，在设计、建造过程中，碧海永乐坚持科技领先、创新工艺设计。针对空气过滤，采用了空气净化系统6级过滤流程——— 初效、中效、化学、中效、高效、超高效(终端)，实践证明行之有效。在ISO3级和ISO 4级洁净室，断面风速采用0.35m/s，结果证明气流组织合理。在项目设计、建设过程中，工程人员还引入了国际理念，在国内首次采用《洁净室与相关受控环境》性能及合理性评价准则，对洁净室的全过程进行控制，达到了预期效果。行业专家认为，该项目洁净室HVAC系统(MAU+FFU+DC)合理可行。经美国专业公司采用国际标准测试，该项目洁净室温度、相对湿度、洁净度、压力梯度等洁净室主要参数均达到TFT-LCD掩模版工艺生产要求。

2007年11月28日，备受国内外洁净室建造界关注的“中国第一洁净室”——— 清溢精密光电TFT掩模版项目正式竣工。这标志着我国1级、10级洁净室设计建造不能完全独立完成的历史的结束，充分展示了我国洁净室建设的超高水平。该项目是第一家由国内净化公司独立完成设计、施工的1级净化项目，标志着我国已拥有国际洁净室设计建造的最先进水平。