芯片关键材料“松江制造”，上海松江区集成电路完整产业链初步形成

据松江区消息：随着上海超硅半导体有限公司300毫米全自动智能化生产线项目日前在松江经济技术开发区开工，松江区在积极构建世界集成电路产业高地的道路上又迈出了重要一步。据了解，该项目建成后预计可年产360万片300毫米抛光硅片和外延片，以及12万片450毫米抛光硅片。据统计，今年上半年，区内相关企业共生产集成电路产品64.5万片。

超纯芯片铜互连电镀液产品实现大批量生产并替代美国同类产品，300毫米抛光硅片国产化填补国内产能空白，上海本地研发、设计的首款人工智能芯片在松江发布……区科委相关负责人分析称，随着一项项科技成果在G60科创走廊涌现，目前松江在集成电路行业已初步形成了从设计、制造到封装测试，材料和设备都较为完整的产业链。

集成电路，也就是人们常说的芯片，被誉为现代工业的“粮食”，是信息技术产业的核心，其产业技术的发展直接关系到电子工业的发展水平。在上海正全力打造国内最完备、技术最先进、最具竞争力的集成电路产业体系的背景下，G60科创走廊上的松江企业也紧抓机遇，大力研发与主导产业相融合、有巨大市场需求的芯片制造关键材料，用核心技术成果不断擦亮“上海制造”的品牌名片。

芯片关键材料“松江制造”

始终对标国际集成电路产业最高水平的上海超硅半导体有限公司，近年来不断取得令人瞩目的科创成果。公司2008年在松江成立，拥有世界一流的人才团队和核心技术，独立开发的集成电路用大尺寸抛光硅片具有完全自主知识产权，其研发生产的300毫米抛光硅片填补了国内产能的空白，打破了大尺寸硅片材料晶体生长技术及主要设备制造的国际垄断。上海超硅公司相关负责人介绍，公司计划在2至5年内以300毫米硅片规模化生产为突破点，5至7年内以450毫米硅片规模化生产为制高点，10年内实现300毫米硅片产能达到50万片/月、450毫米硅片产能达到30万片/月，占全球市场份额的15%～20%，成为与日本信越、SUMCO并驾齐驱的世界一流企业。

作为一家立足于自主创新的半导体材料供应商，上海新阳半导体材料股份有限公司2004年成立于松江。公司从创立之初就以打破国际垄断为目标，启动国家科技部专项支持的“65-45nm芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发和产业化”项目。公司相关负责人告诉记者：“本项目实施以前，此类材料全球只有一两家供应商能够提供，我国集成电路制造企业所需材料完全依赖进口。”

在项目负责人孙江燕、首席专家王溯的带领下，项目团队十年磨一剑，连续攻克了产品金属杂质、总有机碳、溶液中颗粒去除等难题，项目于2015年底通过科技部专项验收，项目成果超纯芯片铜互连电镀液产品实现了大批量生产，成功替代美国同类产品，目前已累计实现销售额逾8000万元。在成功申报高新技术企业和科技小巨人企业后，近两年，新阳半导体又相继获得了上海市专利工作示范企业、国家知识产权优势企业称号，并获张江国家自主创新示范区专项发展资金扶持，企业技术研发和科技创新能力不断增强。

在智慧芯片研发及制造领域，G60科创企业始终坚持使命担当，不断致力于攻克行业发展难题，为全球芯片产业技术更新贡献中国智慧。芯片级封装的产品在客户实际应用中，经常因为强度不够发生开裂。对此，位于松江经济技术开发区的尼西半导体科技(上海)有限公司经过努力攻关，掌握了全球最新技术，大幅提升了产品的强度，使得产品的弯曲断裂强度由市场主流产品的3牛顿提升到10牛顿左右。作为一家致力于半导体集成电路及相关电子产品研发、设计与工艺开发的科技型企业，尼西半导体还凭借持续不断的创新研发，在多芯片方案整合、产品尺寸小型化、提高产品能量转换效率等方面占据了行业技术核心位置。

完整产业链添高端新成果

一次次瞄准技术前沿，一次次打破国际垄断。显然，随着G60科创走廊建设的不断深化，松江企业已经将在芯片制造领域占领主导地位确定为自身的发展方向。

“面对发达国家的技术封锁，我国自行发展芯片核心技术，发展自己强大的芯片产业势在必行，这对G60科创走廊上的松江企业来说，既是挑战，也是机遇，不少企业都表示要在科技创新的过程中切实承担应有的社会责任，为集成电路产业实现中国制造贡献力量。”区科委相关负责人说。

上海博康精细化工有限公司在创立之初，就将国内集成电路产业中最大的短板、也是最核心的技术——光刻作为研发方向。经过多年努力，如今，博康已经成为中国唯一的中高端光刻胶材料研发和规模化生产企业，其掌握的全球顶尖光刻技术标志着我国加入了高端先导工艺研发的国际俱乐部。去年落户G60科创走廊后，公司董事长傅志伟对博康未来的发展信心满满，他说：“博康的发展一是源于使命，二是始终致力创新，我们将坚定不移地走聚力创新之路，带动整个中国光刻产业的发展，打造世界级的光刻产业集团。”今年，博康的订单有望突破2亿元。此外，占地85亩的集成电路装备科技园也已破土动工，正在加紧建设一个全球先进光刻设备销售服务中心。

去年底，华夏芯(北京)通用处理器有限公司在松江对外发布了多核SoC芯片平台——北极星。据悉，这是国内首次发布具有自主知识产权的人工智能平台型芯片，也是上海本地研发、设计的首款人工智能芯片，不仅打破了国外垄断，还初步实现了产业化，再次为建设和完善我国自主可控的人工智能产业链添上了重要一笔。

“为了给落地G60科创走廊的集成电路相关企业营造良好的科创氛围，在高新技术企业、科技小巨人企业、高新技术成果转化项目、张江专项、创新资金等申报上，松江区尤其注重对芯片制造相关企业的挖掘和培育。”区科委相关负责人说。统计数据显示，去年，全区规模以上工业产品中，集成电路产品达145万片，同比增长21.8%。