拓墣产研：MOCVD大热中国投入开发单位近20家

时间：2011-06-07 00:33:34

关键字：中科院 LED照明 SOURCE 应用市场

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[导读]2010年全球led产业整体成长快速，年增长率高达42%，随着技术的提升LED应用市场逐渐烧至照明应用领域，刺激上游需求，LED主设备MOCVD投资需求急速暴增。目前国际上MOCVD设备厂商主要为Aixtron、Veeco两家厂商，其占据

2010年全球led产业整体成长快速，年增长率高达42%，随着技术的提升LED应用市场逐渐烧至照明应用领域，刺激上游需求，LED主设备MOCVD投资需求急速暴增。目前国际上MOCVD设备厂商主要为Aixtron、Veeco两家厂商，其占据全球九成以上的市场。但随着LED照明应用渐渐趋近，终端未来应用市场的可期，MOCVD设备的制造生产引来更多国际设备厂商关注，其中不乏有国际设备巨头，如Applied Materials（应用材料），积极投入MOCVD设备的研发，同时加强与国际半导体代工大厂台积电合作，力图在设备及工艺上取得重大突破。此外，韩国的Jusung（周星）积极加强与LED代工厂合作，推出高速MOCVD，力求快速突破市场。韩国VTS、Hanvac、日本Powdec、英国EMF等也积极加大MOCVD设备提升。据拓墣产业研究所（TRI）观察，预计未来还会有更多的国际设备大厂商加入，促进各环节设备的改善，提升工艺技术和产值能力。未来MOCVD设别能力提升主要体现：其一是衬底尺寸逐渐增大化，即逐渐向由2英寸向4英寸、6英寸、8英寸衬底发展；其二设备多腔室同步工艺化，即有目前的单个腔室工艺逐步向双腔室、四腔室等多腔室工艺发展。

　　国际大厂跨足MOCVD设备及效率提升趋势

Source:各厂商；拓墣产业研究所整理，2011/05

注释：图中设备为Veeco公司最新机型MaxBright型（4腔室）

在此情况下，中国大陆投入到MOCVD设备相关开发的企业及科研单位也逐渐增多。目前中国大陆已公开投入MOCVD相关研究开发企事业单位近20家，投入资金多在亿元人民币左右，依此计算投入资金近20亿元人民币。庞大的资本投入及相关技术力量的投入必将加速MOCVD设备国产化的进程，但是在量产化、市场化方面仍需相当时段。未来市场的变化莫测，中国大陆相关厂商能否借LED照明爆发之机崭露头角还有待于市场的检验。

中国大陆MOCVD设备研发及生产主要单位（科研院校）

序号	单位/高校	规格	技术来源
1	广东昭信半导体装备制造有限公司	37*2‘	华中科技大学
2	上海蓝宝光电材料有限公司	3*2	中科院
3	正泰理想新能源设备有限公司
4	青岛杰生电气有限公司	6*2’	西安电子科技大学
5	西安光学精密机械研究所	3*2’	中科院
6	中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司	7*2‘	中科院
7	青岛精诚华旗微电子设备有限公司	3*2‘
8	东莞中镓半导体科技有限公司		北京大学
9	华光慧能		法国CSMEC
10	江苏华盛天龙光电设备股份有限公司		香港华晟
11	中电48所	6*2’
12	北京泰科诺科技有限公司	3*2'
13	清华大学集成光电子实验室
14 [!--empirenews.page--]	山东大学晶体材料国家重点实验室
15	中科院半导体研究所
16	福建省半导体照明工程技术中心
17	华南师范大学信息光电子科技学院
18	南京大学江苏省光电信息功能材料实验室