夏普2011年内量产IGZO TFT，龟山工厂向中小液晶面板倾斜

IGZO TFT面板（右）与非晶硅TFT面板（左）耗电量的比较（摄影：夏普）
夏普将于2011年内开始量产驱动元件采用非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）类氧化物半导体TFT（以下称IGZO TFT）的液晶面板。这种面板是与日本半导体能源研究所共同开发的，为“全球首次实现量产”（夏普）。该公司计划改造目前作为非晶硅TFT生产线的龟山第二工厂，生产用于智能手机和平板终端等的10英寸以下中小型面板。

龟山第二工厂此前一直生产主要用于电视机的大尺寸面板。由于大屏幕电视机市场行情恶化，而智能手机和平板终端的需求增加，因此夏普决定将龟山第二工厂转产中小型面板。另外，龟山第一工厂也已把生产设备出售给了中国的南京中电熊猫液晶显示科技有限公司，目前“正在引进新的中小型液晶面板生产设备”（夏普）注1）。夏普的目的是通过这些措施来强化中小型面板业务。

注1）关于龟山第一工厂的设备投资，曾有报道称将由苹果负担。对此，夏普表示，“涉及特定客户交易的内容不予答复”。

以低成本生产高精细面板

尽管如此，龟山第二工厂仍无法直接生产超过200ppi的高精细面板。原因是非晶硅TFT的载流子迁移率较低，很难缩小TFT的尺寸。一般采用低温多结晶硅（LTPS）TFT来生产高精细中小型面板，其载流子迁移率可达非晶硅TFT的100倍以上。

夏普表示，龟山第二工厂计划采用的IGZO TFT“载流子迁移率比非晶硅TFT高出20～50倍，可将TFT缩小至1/5左右”（夏普）（表1）。通过提高像素的开口率，可实现低耗电和高精细。耗电量方面，作为10.8英寸、1366×800像素的试制面板，IGZO TFT面板约为非晶硅TFT面板的2/3。高精细度方面，“最高可达到300ppi”（夏普），接近该公司自主开发的LTPS TFT技术——“CG硅”TFT。



IGZO TFT与LTPS TFT相比，可进一步降低生产成本。原因是不需要像LTPS TFT那样，通过激光退火处理来完成通道部分的结晶过程，所以更容易加大TFT特性不均现象较少的玻璃基板。夏普没有公布制造工艺的详细内容，但表示“只需要改进龟山第二工厂的部分生产设备即可。使用第8代玻璃基板生产中小型面板，所以成本竞争力更高”。此外，IGZO TFT的技术还可用于有机EL面板。（记者：佐伯 真也）