MOCVD国产化加速 国际厂商强化性能应对

MOCVD国产化加速 国际厂商强化性能应对

——材料与装备技术会议观察

无论是中科宏微、还是广东昭信，再或是中微半导体，三家在CHINASSL2013之材料与装备技术分会上对MOCVD设备志在必得的开发投产之势，显然让国际厂商有了紧迫感。

“我们的愿望是向市场提供MOCVD傻瓜机，客户只要第一次了解设备如何使用，今后按照设定好的程序就能比较轻松地完成设备的使用，并实现了从生产到制造的完全标准化和100%国产化。”广东昭信半导体装备制造有限公司技术代表甘志银在台上的发声浑厚又清晰，“我们在研发过程采取了全程仿真设计，2005年开始研发，2009年投资试产，流程循环也已进行完毕，包括备受关注的温度如何保持稳定性和均匀性，都将在12月底彻底完成，他还表示，“现在共有五台新一代MOCVD设备正在装配生产。”

在竞争愈发激烈时推出自产MOCVD，这是甘志银为企业发展做出的注脚，志在必得之势溢于言表。又岂止是昭信，中科宏微技术代表胡强全程介绍其研发的产品时的自信与娓娓道来，以及二人介绍完毕后与会者提出的问题显然让与会国际厂商爱思强、维易科和赛伦光电相关技术代表有所沉思。这在爱思强技术代表Andreas Toennis 随后的AIXTRON技术介绍中可见端倪：“价格降低需要价值链中每一个企业为之努力，降低成本可以提高消费者的接纳度，·····我们要通过不断地进行技术改进，保持设备的生产能力和灵活度。”

国际厂商的压力感在记者随后对会议主持人南京大学电子学院博士生导师、南京大学扬州光电研究院院长陈鹏教授的采访中也得到了验证。

陈鹏教授认为，这次技术会议给他的感受有两点。一是国产化MOCVD发展迅速，虽然没有大面积铺开，但一些设备已经开始进入试用阶段，从技术来看，无论是容量还是性能与国际水平在逐渐靠近，设计理念、结构包括科学性也可与国际技术相比拟，“虽然在报告上看，细致和研究程度与爱思强和维易科还存在差距，但发展与前两年不一样，有较大进展。”

对于国产化MOCVD迅速发展对于国际厂商的影响，陈鹏认为，国际厂商的压力并不在于国产化设备推出对其获取高额利润的影响，正如爱思强技术代表Andreas Toennis 所说，爱思强会不断通过技术改进保持设备的生产能力和灵活度。从技术来讲，国产MOCVD只是其中的一种机型，爱思强和维易科完全可以凭借技术优势不断推出设备的加强升级版，从价格策略看，其也不会轻易采取降低设备价格来赢取市场，毕竟现在还无人超越。况且中国政府也为企业购买进口设备提供了较大幅度的补贴，因此，目前来讲，价格并不是这些国际厂商主要的压力。危机感在于，一旦国产化设备技术成熟，正式投入使用，那时就不是价格问题，而是市场份额减少，这远远大于降低价格对企业产生的影响。“从这次报告来看，国内设备的生长机制和运行规律远未达到他们研究的深度和广度，但他们仍对这次技术报告一场不落，足见对国内MOCVD进展的关注和重视。国内设备已进入到应用的门槛上。”

除装备技术外，本次会议展示的新材料技术虽不乏亮点，但整体而言，陈鹏认为，与MOCVD相比，从材料的性能和新应用方面，技术进展略显迟缓，不似前几年突飞猛进。表现在流明每瓦的器件效率仍停留在100~150之间，突破150的技术迹象并未发现。其次是，LED应用和渗透领域很多，诸如手机、显示、背光以及通用照明等，但这次展现的材料都是老材料，鲜见新材料。因此，他表示，在新材料的应用和性能研究上还可进一步挖掘。