BluGlass定制前端生产MOCVD系统生长多量子阱架构

BluGlass已经定制了一款前端生产ThomasSwanMOCVD系统，可在一次生长中生产19x2英寸(或5x4英寸或高达8英寸)的LED晶圆。该系统已经完成定制，并能够生长多量子阱(MQW)架构，这种架构可使LED实现更高亮度里程碑。该里程碑涉及到通过在MOCVD用低温远程等离子化学气相沉积(RPCVD)在p型GaN上生长MQW。

氮化铟镓(InGaN)量子阱要在后续的MOCVD生长p型GaN工艺步骤的渐升温度中降解，这会导致LED的亮度降低。采用RPCVD替代MOCVD生长p型GaN层可降低MQW的降解，因此可实现更高亮度LED。

BluGlass首席技术官IanMann博士表示，该系统的关键在于同时具有MOCVD和RPCVD，这两种技术的结合使得光输出更好。

最近，BluGlass收到了第二个MOCVD系统，该系统将被安装和重配置为RPCVD系统。第二个系统将进一步加速盖工的RPCVD开发，并有助于使RPCVD技术的晶圆沉积能力从目前的7x2英寸提升到19x2英寸(或8英寸)晶圆。