布局CVD设备，海微芯仪举行制造基地落成仪式

【导读】布局CVD设备，海微芯仪举行制造基地落成仪式   国产集成电路制造装备企业又添生力军         2007年02月06日，海微芯仪集成电路设备制造（北京）有限公司(简称“海微”)于北京天竺出口加工区举行了制造基地落成仪式。来自信息产业部、北京市工业促进局、天竺开发区委的相关领导，以及SMIC、HHNEC、上海贝岭、Mattson等业界专家出席了典礼。 



　　2006年4月，一批留学美国并在集成电路设备制造业卓有成就的博士创建海微公司，作为一个集技术转移的高新技术企业公司，海微努力在创新开发、生产制造、市场销售、售后技术服务实现一体化。目前，主要产品为微米－纳米级集成电路芯片量产的工作母机 - 6英寸和8英寸化学气相成膜设备CVD。

      在我国新近发布的“十一.五”发展规划纲要中，“新型硅基集成电路的制造工艺技术，核心集成电路装备技术” 被定位为重大科技专项。 “在‘十一五’的第一年海微选择落户北京并得到了北京市政府及各级部门的

鼎力支持，同时被纳入北京市政府重点扶持发展的国产集成电路制造装备企业的行列。 目前，我国集成电路装备产业大发展的契机为海微的腾飞提供了无限宽广的前景，” 海微的总裁单洪清博士解释说，同时他表示，“坚持‘自主创新、技术引进’的方针，依靠完全自主知识产权，海微最终目标是成为国际一流的微电子制造装备产业大公司。”

　　2005年底，海微从世界领先的集成电路设备制造公司美国Mattson公司取得PECVD产品的技术授权。据介绍，目前海微的目标是通过联合品牌将其推向市场，并以其尖端技术、低运营成本和高品质技术支持服务于中国和全球客户。可以欣喜的看到，国产集成电路制造装备企业又增添了一支生力军。

　　海微（北京）生产基地目前建有厂房2200平方米，含净化空调间700多平方米，主要用于海微产品的大批量生产、新产品研发、性能演示和现有产品制造工艺技术的提升，现已具有50台以上的CVD产品的年产能力。  　 

Mattson公司介绍

　　Mattson Technology是一个全球性的提供用于芯片制造的去胶和快速热处理系统的创新者。其去胶和快速热处理产品的全球市场占有率分别为第一位和第二位。公司2006年总销售额高达2亿8千万美元。Mattson公司在业界以提供高生产率，低成本的产品而闻名于世。Mattson公司在技术上的不断创新正在为全球客户提供8〞和12〞晶圆芯片制造技术的卓越服务。其主要客户涵盖了排名前20位的全球芯片制造商， Mattson公司的产品正在全世界各地的芯片制造厂中高效运行。