[导读]美国SensArray近日展出了用于测量生产线温度的晶圆状传感器底板。可检测晶圆处理工序用制造设备内部的设定值与实际温度的差值及温度波动等情况。据称还可用于液浸曝光设备的温度管理。所展示的传感器底板包括2种,分
美国SensArray近日展出了用于测量生产线温度的晶圆状传感器底板。可检测晶圆处理工序用制造设备内部的设定值与实际温度的差值及温度波动等情况。据称还可用于液浸曝光设备的温度管理。所展示的传感器底板包括2种,分别用于干式工艺和湿式工艺。面向干式工艺的底板考虑了对等离子的耐受性,在传感器底板表面包了一层硅晶圆。而面向湿式工艺的底板则在底板表面包了一层聚四氟乙烯树脂(Teflon Resin)。传感器底板以同心圆形状总计嵌入了65个可将温度变化转换成电压的、0.5mm见方的半导体传感器。测量误差在±0.1~±0.2℃之间。同时在传感器底板上还嵌入了2个采用LiPON电解质、24mm见方、厚15μm的超薄充电电池。与其他竞争对手的产品相比,其特点在于即使内置了这么多传感器和电池,底板本身仍非常平坦。包括分析软件,售价在550万~600万日元之间。据悉还在开发具有温度测量、电池充电功能、支持FOUP标准的非接触型传感器底板,力争2006年内研制成功。
本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
中国集成电路设计业在最近十年取得了长足的发展,这不仅体现在行业中出现了一大批成功的芯片设计企业,他们不断努力使其产品达到了世界一流的水平,而且还体现在这些领先的中国企业已经非常善于建立完善的产业生态,产品进入了全球领先的...
关键字:
集成电路
EDA
晶圆
富昌电子将于 2024 年 6 月 5 日在北京举行技术日活动,深入探讨未来技术趋势,以及切实应对设计挑战的创新性解决方案。
关键字:
半导体
传感器
功率电源
5月30日消息,据媒体报道,日本经济产业省近日宣布,将在半导体、先进电子零部件、蓄电池、机床及工业机器人、飞机零部件等五大关键产业领域实施更为严格的监管措施,以遏制技术外泄风险。
关键字:
半导体
传感器
人工智能
电动汽车
友宏JCRing智能戒指设计采用 nRF52840 SoC,以微型封装提供超低功耗、安全的无线连接功能
关键字:
智能戒指
智能手机
传感器
中国(蚌埠)MEMS智能传感器产业发展大会是行业内极具影响力和引领力的产业盛会,2017年至今已在蚌埠成功举办六届。本届大会邀请院士、专家、企业家600余人参加,设置了多场高峰论坛和专题活动。
关键字:
传感器
对于应变仪或热敏电阻等传感器,您必须使用由不完善的组件构建的电路准确且廉价地测量电阻,其中增益和偏移误差会显着限制欧姆测量的准确性。
关键字:
电阻
热敏电阻
传感器
May 20, 2024 ---- 据TrendForce集邦咨询研究,三大原厂开始提高先进制程的投片,继存储器合约价翻扬后,公司资金投入开始增加,产能提升将集中在今年下半年,预期1alpha nm(含)以上投片至年底将...
关键字:
晶圆
HBM
存储器
近期,运动与控制技术的先行者——派克汉尼汾公司宣布推出一款功能强大的测量设备Service Master COMPACT,为行走机械和工业液压应用提供实时监测和诊断服务。产品采用坚固的IP65防护级外壳及耐油性橡胶保护层...
关键字:
触摸屏
触感键盘
传感器
阿联酋迪拜2024年5月14日 /美通社/ -- 5月14日,迪拜智能卡支付及零售展览会(Seamless Middle East)隆重开幕。紫光同芯再度携金融、电信、身份识别领域的核心产品出海,展示其在身份识别与金融支...
关键字:
紫光
SE
EAST
POS
2024年5月15日 – 专注于引入新品的全球电子元器件和工业自动化产品授权代理商贸泽电子 (Mouser Electronics) 即日起开售STMicroelectronics的VL53L4ED飞行时间 (ToF)...
关键字:
传感器
工业自动化
机器人
大约一半的购物者愿意在有象征性退货费用的情况下购买商品,Z世代接受此费用的比例几乎是婴儿潮一代的两倍。四分之一消费者更倾向于跨境购物,如果所有进口费用、税费和关税都清晰透明。40%的人愿意等待一周时间接收国际购物产品。A...
关键字:
SE
为增进大家对氧传感器的认识,本文将对氧传感器的检查方法进行详细的介绍。
关键字:
传感器
指数
氧传感器
为增进大家对氧传感器的认识,本文将对氧传感器的作用、氧传感器坏了的表现以及氧传感器常见故障予以介绍。
关键字:
传感器
指数
氧传感器
为增进大家对氧传感器的认识,本文将对氧传感器的原理、氧传感器的作用予以介绍。
关键字:
传感器
指数
氧传感器
nRF Cloud现在提供一整套服务,包括设备管理、定位和安全,为物联网客户提高了灵活性和可扩展性
关键字:
物联网
传感器
5月9日,日本半导体制造设备商Screen Holdings公布了2023财年(2023年4月-2024年3月)财报,营收、获利均创下新纪录,预计2024年度业绩有望继续创下新高。
关键字:
半导体
传感器
人工智能
电动汽车
魁北克城2024年5月9日 /美通社/ -- LeddarTech Holdings Inc. ("LeddarTech")(纳斯达克:LDTC)和Immervision Inc. 欣然共同宣布了一项合作,旨在简化...
关键字:
LED
ADAS
人工智能
传感器