三十而立 ADI的MEMS传感器要接管市场了

如果说，三十岁是人成熟的标志，那么，一种科技产品经历了三十年发展，也可以算进入了成熟期。这种产品就是ADI公司开发的MEMS传感器，从1987年开始研发，到2017年，正好是三十周年。这期间，有过很多标志性的产品，如业界第一颗High-G气囊传感器，96年发布的Low-G运动监测传感器，还有2011年发布的高温MEMS加速度计。目前，各种监测应用中，都活跃着ADI的MEMS传感器。

MEMS传感器的成熟，表现在三个主要方面。

第一是低噪声。MEMS传感器会大量应用在工业IoT市场，这里需要的是精准的监控，而工业环境非常嘈杂，就需要尽量能降低器件自身的噪声。MEMS传感器能很好地做到这点。ADI最新发布的ADXL354和ADXL355就是超低噪声，高稳定性，三轴低噪声加速度计，其噪声指标能达到20µg/ÖHz，比市面上的主流产品ADXL203有了大幅的降低，基本接近5倍降幅。原来用ADXL203实现的倾角测量，振动监测，平稳平台控制等应用，均可替换为ADXL354和ADXL355。

以倾角测量为例，如果要测量高楼地基的沉降——它的变化的角度是非常的小，就需要器件的噪声足够的低才能够检测到。还有我们并不陌生的医疗领域，如果要监测脉搏等指标，也需要极低的噪声。

ADXL354和ADXL355还具有最大0.15mg/C 零点漂移，预计10年内的±3.5mg零点重复性。后一项指标对于开发者极为重要，因为很多情况下，传感器是要长期埋藏使用的，如果不能判断出随时间变化的失效情况，测量精度就会大打折扣。

ADI的其他系列传感器也具有低噪声的特性，如±40g三轴加速度计ADXL356 / 357，在如此大的量程下，还能具备80 µg/√Hz的噪声密度。还有ADXL1001/1002 振动传感器，基于超低噪声技术，可以代替传统的压电传感器。

第二个方面是超低功耗。现在经常被提及的智慧城市和智慧家居等概念，都需要传感器来采集数据，而这些应用多为电池供电，功耗就极为关键。刚才提及的ADXL354和ADXL355，其功耗为150μA；ADXL356 / 357，功耗为也为150μA；还有超低功耗、3轴、±200 g MEMS加速度计ADXL372,以3200 Hz输出数据速率(ODR)工作时功耗为22μA。值得一提的是，ADXL372未对其前端周期供电以实现其低功耗操作，因此不会冒传感器输出混叠的风险。

最后一个方面就是极高的性价比。传统的压电传感器也具备低噪声等特性，但是价高的离谱，最贵的竟然要卖到上千美金。现在，技术的进步使得MEMS传感器具有了和传统压电传感器不相上下的水平，价格却非常亲民，新的市场就此打开。

在工业应用中，用户非常关心机器的运转状况，这关系到安全和生产效率。最新的ADXL1001/1002 振动传感器，可以检测到很宽频带内的信号变化，通过观察数据，用户就能发现机械设备出现的问题。传统的压电传感器也能实现，但是本身价格高不说，还有铺设很长的电线，增加了很多应用成本。

还有ADXL372，这种三轴加速度计可以安装在货车上，以检测贵重物品的安全。该传感器的量程达到了200G，当车辆发生撞击时，就能准确判断出冲击状况。这种传感器如大量使用，将会降低物流的运输成本。

整个工业物联网连接领域的发展给了MEMS传感器广阔的应用空间，而MEMS技术的成熟也促进了工业物联网的演化。在三十而立的时候，ADI的MEMS传感器将迎来最好的时光。