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[导读]台积电在芯片制程上不断向前发展,7nm、5nm工艺对台积电而言,已经成为小儿科,4nm芯片的产能也在不断提升中。根据台积电方面发布的消息可知,3nm芯片将会如期量产,预计上市时间为今年第四季度。

台积电芯片制程上不断向前发展,7nm、5nm工艺对台积电而言,已经成为小儿科,4nm芯片的产能也在不断提升中。根据台积电方面发布的消息可知,3nm芯片将会如期量产,预计上市时间为今年第四季度。台积电等想要生产制造1nm芯片,就需要用到大量的铋,这意味台积电1nm芯片这次要看我们了。言外之意,如果我们不提供铋这种稀少的原材料,台积电等1nm芯片可能就无法生产制造,或者是无法大量生产,除非其换另外一条研发路线,但这种可能性非常小。

在 VLSI 2021 上,imec 推出了 forksheet 器件架构,以将纳米片晶体管系列的可扩展性扩展到 1nm 甚至更领先的逻辑节点。在forksheet器件中,由于减小了 n 型和 p 型晶体管之间的间距,因此可以使有效沟道宽度大于传统的环栅纳米片器件。这有利于晶体管的驱动电流(或直流性能)。此外,更小的n-to-p间距可以进一步降低标准单元高度,逐步将标准单元推向4T轨道高度设计,这意味着4条单元内金属线适合标准单元高度范围。

但是对于 4T cell设计和 16nm 的金属间距,即使叉板变得太窄,也难以提供所需的性能。P. Schuddinck 等人在 2022 年 VLSI 论文中强调了这一挑战。这就是互补 FET 或 CFET 可以提供缓解的地方。因为在 CFET 架构中,n 和 pMOS 器件相互堆叠,从而进一步最大化有效沟道宽度。

Julien Ryckaert:“在 CFET 架构中,n 型和 pMOS 器件相互堆叠。堆叠从单元高度考虑中消除了 np 间距,允许进一步最大化有效沟道宽度,从而进一步最大化驱动电流。我们还可以使用由此产生的面积增益将轨道高度推至 4T 及以下。”

该突破主要体现在材料方面,使用半金属铋(Bi)作为二维(2D)材料的接触电极,可以大大降低电阻并增加电流。这可以实现接近现有半导体尺寸物理限制的能源效率。该消息是在IBM早些时候宣布其2nm芯片之后发布的。

每一种新的工艺技术都会带来新的挑战,在这种情况下,关键挑战是找到合适的晶体管结构和材料。同时,为晶体管供电的晶体管触点对其性能至关重要。半导体工艺技术的进一步小型化增加了接触电阻,从而限制了它们的性能。因此,芯片制造商需要找到一种电阻非常低、可以传输大电流并且可以用于量产的触点材料。使用半金属铋作为晶体管的接触电极可以大大降低电阻并增加电流。目前,台积电使用钨互连晶体管,而英特尔使用钴互连。两者都有其优点,并且都需要特定的设备和工具。

为了使用半金属铋作为晶体管的接触电极,研究人员不得不使用氦离子束 (HIB) 光刻系统并设计一种“简单的沉积工艺”。这种工艺仅用于研发生产线,因此还没有完全准备好进行大规模生产。按照摩尔定律,每18个月芯片的晶圆管密度就会提升1倍,从而性能翻倍。

过去的这几十年间,芯片制程其实差不多是按照摩尔定律走的,直到进入7nm后,基本上就无法按照这个定律走了,比如5nm、3nm的演进就慢了很多,所以很多人称现在摩尔定律已死。不过近日,IMEC(比利时微电子中心)还是展示了一张最新的芯片制造发展路线图,一路看到了2036年的0.2nm工艺,表示接下来芯片制造还是会按照摩尔定律走下去。

如下图所示的这个演进路径,2022年实现N3也就是3nm,2024年到2nm,2026年到A14也就是1.4nm,2028年到1nm,并且还会演进,到2036年是直接达到0.2nm。

同时在晶圆管技术上,也有技术演进,目前是FinFET,而到2nm时会换成GAAFET,再到0.5nm时,会换成CFET技术。不过,大家看看我在上图标的绿色框,这里指的是MP金属栅极距,这是真正代表晶体管密度,也就是工艺指标的参数。它在1nm之前还是在不断变小的,直到1nm工艺时,为16nm,但接下来不管工艺怎么先进,其参数一直处于16-12nm间了。意思就是晶体管密度其实不再怎么变化了,不管你是1nm,还是0.5nm,或者0.2nm,这个MP金属栅极距基本不变了。

事实上,之前已经有科学家表示,当芯片工艺在1nm之后,量子隧穿效应有可能会让半导体失效,估计这也是为什么1nm后,这个MP金属栅极距不变了,因为不可能再变小了。

如果芯片一直突破1nm之后,之后的出路在哪儿,是否会往更小发展?不一定,其实就现在也不是所有芯片都最求最小线宽的。比如电源功率芯片采用SIC,氮化镓等三代半导体,做高频器件。未来芯片会更多样,性能要求也会更多样。软硬一体化的设计也会更多地出现。比如,会计的电脑更多考虑整数运算,科学计算或者工程运算啥的,需要更高的浮点运算精度,游戏和三维设计更加考验图形计算能力,AI训练对算力的要求也更不同。

另外IOT设备,对算力要求不高,更多对通信,功耗,价格敏感。随着市场规模的扩大,每一个细分市场都会更加专业。比如手机soc,在工艺不能提升的情况下,可能就会有拍照soc和游戏soc的区分。拍照soc可能ISP做得特别大,对应手机摄像头会更高级,游戏soc会把GPU做得更大。然后,工艺不能提升,软件其实还有很大提升空间。比如安卓的虚拟机优化,Linux内核优化。甚至以前基本很难实现的指令集优化,在摩尔定律停滞后会逐渐出现解决方案。

不断提高半导体的制程技术,基于两个因素:1、单位面积容纳更多的晶体管,2、容纳更多的晶体管,制程越高,芯片的散性就越好。实际上在7nm以前,还有一个因素,就是性价比的问题,但是由于新制程研发和生产投入越来越大,提高新制程越来越不具备性价比。半导体制程达到5nm时,其实已经接近硅基材料的极限,再上一步,到达3nm,我个人认为投入巨资研发代价是非常巨大的,生产出来的芯片,还具不具备市场推广价值都很值得怀疑。


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