TFT-LCD的生产与制造流程是怎样的？

TFT-LCD液晶屏是通过怎样的制造工艺来发挥出其在显示屏中的巨大优势的呢，本文重点是由深圳市兴宇合电子技术人员为大家详细介绍 TFT-LCD的制造工艺流程，希望对大家有所帮助。

一、TFT-LCD的制造工艺流程有以下几部分

①、在TFT基板上形成 TFT 阵列;

②、在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及 ITO 导电层;

③、用两块基板形成液晶盒;

④、安装外围电路、组装背光源等的模块组装。

二、在 TFT基板上形成TFT阵列的工艺

现已实现产业化的 TFT 类型包括：非晶硅 TFT ( a-Si TFT )、多晶硅 TFT ( p-Si TFT )、单晶硅 TFT(c-Si TFT) 几种。目前使用的仍是 a-Si TFT 。

a-Si TFT的制造工艺如下：

①、先在硼硅玻璃基板上溅射栅极材料膜，经掩膜曝光、显影、干法蚀刻后形成栅极布线图案。一般掩膜曝光用步进曝光机。

②、用 PECVD 法进行连续成膜，形成 SiNx 膜、非掺杂 a-Si 膜，掺磷 n+a-Si 膜。然后再进行掩膜曝光及干法蚀刻形成 TFT 部分的 a-Si 图案。

③、用溅射成膜法形成透明电极( ITO 膜)，再经掩膜曝光及湿法蚀刻形成显示电极图案。

④、栅极端部绝缘膜的接触孔图案形成则是使用掩膜曝光及干法蚀刻法。

⑤、将 AL 等进行溅射成膜，用掩膜曝光、蚀刻形成 TFT 的源极、漏极以及信号线图案。用 PECVD 法形成保护绝缘膜，再用掩膜曝光及干法蚀刻进行绝缘膜的蚀刻成形， ( 该保护膜用于对栅极以及信号线电极端部和显示电极的保护 ) 。

TFT阵列工艺是 TFT-LCD制造工艺的关键 , 也是设备投资很多的部分，整个工艺要求在很高的净化条件(例如 10 级)下进行。

三、 在彩色滤光片( CF )基板上形成彩色滤光图案的工艺

彩色滤光片着色部分的形成方法有染料法、颜料分散法、印刷法、电解沉积法、喷墨法。目前以颜料分散法为主。

颜料分散法的是将颗粒均匀的微细颜料(平均粒径小于 0.1 μ m ) (R 、 G 、 B 三色 ) 分散在透明感光树脂中。然后将它们依次用涂敷、曝光、显影工艺方法，依次形成 R. G. B 三色图案。在制造中使用光蚀刻技术，所用装置主要是涂敷、曝光、显影装置。

为了防止漏光，在 RGB 三色交界处一般都要加黑矩阵( BM )。以往多用溅射法形成单层金属铬膜，现在也有改用金属铬和氧化铬复合型的 BM 膜或树脂混合碳的树脂型 BM 。

此外，还需要在 BM 上制作一层保护膜及形成 IT0 电极 , 由于带有彩色滤光片的基板是作为液晶屏的前基板与带有 TFT 的后基板一起构成液晶盒。所以必须关注好定位问题，使彩色滤光片的各单元与 TFT 基板各像素相对应。

四、液晶盒的制备工艺

在上下基板表面分别涂敷聚酰亚胺膜并通过摩擦工艺，形成可诱导分子按要求排列的取向膜。之后在 TFT 阵列基板周边布好密封胶材料，并在基板上喷洒衬垫。同时在 CF 基板的透明电极末端涂布银浆。然后将两块基板对位粘接，使 CF 图案与 TFT 像素图案一一对正，再经热处理使密封材料固化。在印刷密封材料时，需留下注入口，以便抽真空灌注液晶。

近年来 , 随着技术进步和基板尺寸的不断加大 , 在盒的制作工艺上也有很大的改进 , 比较有代表性的是灌晶方式的改变 , 从原来的成盒后灌注改为 ODF 法 , 即灌晶与成盒同步进行。另外 . 垫衬方式也不再采用传统的喷洒法 , 而是直接在阵列上用光刻法制作。

五、外围电路、组装背光源等的模块组装工艺

在液晶盒制作工艺完成后，在面板上需要安装外围驱动电路，再在两块基板表面贴上偏振片。如果是透射型 LCD. 还要安装背光源。

材料和工艺是影响产品性能的两个主要因素，TFT-LCD 经过上面四道主要制程，大量繁杂的制作工艺才形成我们所看到的产品。

是什么?这个在这里就不给大家介绍了，需要了解的在网站的产品介绍页面也是有的哦。

TFT-LCD主要的三段制程：

首先是前段Array

前段部分的Array 制程和半导体制程相似，但是不同的是将薄膜电晶体制作在玻璃之上，而不是矽晶圆上面。

然后是中段Cell

中段部分的Cell ，是以前段的Array玻璃作为基板，和彩色的滤光片玻璃基板相结合，并且在两片玻璃基板之间灌入液晶(LC)。

最后是后段Module Assembly (模组组装)

后段模组的组装制程则是将Cell制程之后的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种零组件组装生产的作业。

TFT-LCD面板的制作流程：薄膜晶体管液晶显示屏TFT-LCD)的模块

薄膜晶体管液晶显示器模块：TFT-LCD：三明治一样的构造

就如同三明治一样，将液晶夹杂在两片玻璃基板之间，这两片玻璃基板呢，就是TFT Array玻璃和彩色的滤光片。 在TFT Array玻璃的上面有着无数的画素(pixel)排列着，而彩色的滤光片则是画面颜色的重要来源，液晶呢便夹杂在TFT Array以及彩色的滤光片之间。 当电压在TFT(晶体管)的时候，液晶转向，那么光线便穿过了液晶在面板上面产生了一个画素，而此光源呢，则是由背光模块所负责提供的。此时，彩色的滤光片给予了每一个画素特定的一个颜色。结合了每一个不同颜色的画素最后所呈现出的，就是面板前端的影像了。

TFT-LCD：三明治一样的构造：

经过300道以上的制程而产生

TFT-LCD必须是在精密的无尘室之内，经过300道以上的制程而生产出来的。无尘室的最高洁净度等级可以达到「10 」(即：在无尘室的环境之内，每立方尺最多只有10颗粉尘)。

经过300道以上的制程产生过程：

TFT-LCD 工厂—— 世代和尺寸

TFT-LCD 的工厂从以前的1代工厂演进到了现今的7.5代工厂，各个世代的厂房差别就是在于玻璃基板的一个尺寸。玻璃基板越大，便就能切割出更大尺寸的面板。举例来说呢，一片7.5代的玻璃基板尺寸达到了195公分 X 225公分，它的大小更是大于一张加大的双人床，它呢就可以被切割成八片42寸的面板，或是6片46寸的面板。

通过前玻璃基板/彩色滤光基板工艺过程形成精确排列的彩色滤光层。

1、薄膜基板工艺形成薄膜晶体管液晶(TFT)阵列及显示器像素控制所用其它电子元件。

每个像素一般对应三个薄膜晶体管液晶(TFT),每个像素控制一个共同构成一个像素的“色点”。薄膜形成工艺采用与半导体制造技术相类似的CVD、Etch及PVD等工艺技术。此类工艺步骤应反复数次,连续膜层方可形成一个功能元件

2、两块基板合二为一,中间注入液晶材料。

3、 最后组装背光及驱动电子元件,制造出TFT液晶屛模块。

深圳市思迪科科技有限公司从事8.8寸条形液晶屏、工控液晶屏研发生产、销售为一体的条形液晶屏厂家，提供TFT液晶屏,定制液晶屏,工控液晶屏的优秀条形液晶屏厂家