更快地解决SPC和FDC违规问题

[导读]使用SmartFactory Knowledge Advisor内建OCAP解决方案，来扩展工厂的自动化智能能力

您知道工厂里将近 50% 的报废是人为错误造成的吗（参见图 1）？实现异常管制计划（OCAPs）的自动化是一个获得投资回报的重要机会。

OCAP 是供工程师为了解和纠正流程或生产设备上的缺陷而遵循的计划。例如，如果统计过程发生异常，相关设备的处理就会停止，从而允许工程师执行一系列任务，使设备尽快恢复在线状态。

图1：虽然其他原因通常被认为是停机的最大原因，但人为错误是停机的最大因素

数据可用性、可访问性和完整性

但是，并非所有的任务都是现成的，或是平均地分配给工程师，并且没有一个流程中的单一参数数据集能够提供变异来源的完整图景。用于控制计划的数据通常驻留在不同的组件中，如SPC或FDC，它们各自具有的集成方法和数据结构模型。在某些情况下，数据不存在、不完整，或者是在某个人的笔记本电脑上手动进行维护。此外，正确执行恢复任务需要工程师制定适当的计划，阅读并理解步骤，然后正确地执行这些步骤。

内建方法的价值

如今的晶圆厂需要一种更具凝聚力的方法，一种管理信息集并扩展设施自动化智能的方法。图2概述了这种方法的需求，并重点介绍了实现具有适当功能的OCAP解决方案的价值。

图 2：使用适当的自动化策略，OCAP解决方案可使解决SPC和FDC违规的速度提高40%

减少可变性的集成工作流

为成功实施OCAP的这些组成部分并在您的工厂中扩展自动化智能，SmartFactory Knowledge Advisor提供集成的工作流引擎，该引擎可以：

在工作流中如上下文模式匹配（CPM）和数据模式中嵌入 AI 功能，帮助引导用户

让用户能够制定解决异常的行动计划

通过提供具有直观用户界面体验的工作流详细信息来指导用户解决错误（参见图 3 示例）

减少与错误解释因果关系相关的人为可变性

管理行动跟踪，识别以前的故障排除活动

图 3：此示例计划说明了浏览器上Web Analytics中用户界面的可用性，

并展示了如何在右侧的主面板中轻松查看左侧所选步骤的详细信息

Knowledge Advisor有何与众不同之处？

许多第三方或内部OCAP解决方案缺乏多规程方法所需的“自动化挂钩”。例如，它们可能只与SPC应用一起工作，而缺乏从其他系统收集数据以帮助排除异常故障的能力。

然而，Knowledge Advisor 可容纳来自任何应用材料 E3™解决方案的数据，包括高级过程控制（APC）、SPC、FDC和配方管理（RM）。如图4所示，该解决方案利用应用材料E3的全部功能，促进从各种来源和AI功能收集数据。

图 4：Knowledge Advisor 是唯一一套用于构建与SmartFactory E3系列

完全集成的异常解决行动计划的解决方案

通过使用通用平台，工程师可以更好地管理配方、设备、SPC和FDC违规。如果您将E3用于FDC或 SPC，那么拥有一个通用平台可以为您减少跨CIM的管理点。

结论

在当今的晶圆厂中，人为错误是造成报废和停机的最大原因。自动化的成本必须对照回收和报废的成本来考虑。因此，关键是衡量什么样的自动化水平适合保持具有竞争力的利润率和对未来增长的投资。Knowledge Advisor旨在为客户提供具有成本效益的灵活性。凭借其集成和准确决策的能力，Knowledge Advisor使用户能够更有效地解决设备和流程故障。主要成果包括减少重复违规和错误决议、改进审计合规、标准化错误处理活动和减少信噪比管理的AI能力。

我们的SmartFactory自动化解决方案已经服务半导体行业超过30年，并在半导体工厂的各个方面都拥有一流的专业技术。