半导体激光器在各个科学等领域,它们是如何工作的呢?
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从1962年发现半导体激光器以来,这项技术已经成为各个领域进步的组成部分,半导体激光器广泛应用于光通信、生物医学、集成光学和材料科学等领域,但它们是如何工作的呢?了解它们的结构、关键属性和工作原理对于探索它们的应用和性能至关重要。自从1962年发现半导体激光器以来,这项技术已经成为各个领域进步的组成部分半导体激光器广泛应用于光通信、生物医学、集成光学和材料科学等领域但它们是如何工作的呢?了解它们的结构、关键属性和工作原理对于探索它们的应用和性能至关重
半导体材料的电特性
半导体具有寿命长、体积小、功耗低以及与现代技术兼容等优点,因此被广泛应用。3 它们的电特性可以调整,以增强或限制电子流,因此在电子和激光应用中至关重要。它们的导电性介于金属和绝缘体之间,可以控制电气行为。
导电性由自由电子的运动决定。电子占据不同的能级,结合最不紧密的电子位于价带。在价带之上是导带,电子必须在此过渡才能导电。这些能带之间的能差(称为带隙)决定了材料的导电性。
与绝缘体相比,半导体的带隙更窄,因此可以控制电子的移动。这一特性是半导体在现代电子和光电设备(包括半导体激光器)中应用的关键。
蓝光半导体激光器的结构特点在于其有源区材料,通常为GaN或InGaN,这些材料的带隙宽度有所不同,从而使得激光器能够发出不同颜色的光。以典型的GaN基激光器为例,其结构在z方向上从下到上依次为n电极、GaN衬底、n型A1GaN下限制层、n型hGaN下波导层、多量子阱(MQW)有源区、非故意掺杂hGaN上波导层、p型电子阻挡层(EBL)、p型A1GaN上限制层、p型GaN层以及p电极。这种精细的结构设计,使得蓝光半导体激光器在发光效率和稳定性方面都表现出色。
半导体激光器,又称为激光二极管,是一种利用半导体材料作为工作物质产生激光的器件。它基于半导体材料的特殊电子能带结构,通过注入电流实现粒子数反转分布,从而产生受激辐射,发出具有高度相干性、方向性和单色性的激光束。常见的激光半导体材料有砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等,这些材料通过不同的掺杂和制造工艺,可以实现不同波长的激光输出,覆盖从可见光到红外光的较宽光谱范围。
普通 LED 是基于自发辐射发光。当在 LED 的 PN 结两端施加正向电压时,电子与空穴复合,释放出能量以光子的形式发出光,其发光过程是随机的,发出的光在方向、相位和光谱上相对较为分散。
半导体激光器则是基于受激辐射发光。在特定的条件下,通过外部能量的激发使处于高能级的电子数多于低能级的电子数,形成粒子数反转,当一个光子引发高能级电子跃迁到低能级时,会产生与入射光子具有相同频率、相位、方向和偏振态的光子,从而形成高强度、高相干性的激光束。
展示了典型的GaN激光器芯片结构。多量子阱有源区(MQWs)的材料折射率最高,且其两侧材料的折射率逐渐递减。这种z方向上材料折射率中间高、上下低的分布特点,使得光场主要被限制在上、下波导层之间。在y方向,激光器两侧的p型层经过刻蚀并沉积了二氧化硅(SiO2)薄层,形成了脊型结构。由于二氧化硅和空气的折射率低于p型层的折射率,光场在y方向上被进一步限制在脊型中间。最终,在x方向通过机械解理或刻蚀方法形成前、后腔面,并通过蒸镀介质膜来调控其反射率,通常前腔面的反射率设计得低于后腔面,以确保激光能够从前腔面有效出射。
接下来,我们探讨蓝光半导体激光器的工作原理。
其核心与其他类型的半导体激光器相同,都是基于半导体材料的光电效应。要使半导体激光器正常工作并实现光子的受激辐射,必须满足几个关键条件:粒子数反转、谐振腔、光增益以及阈值条件等。其中,粒子数反转是指在特定条件下,导带中的电子数多于价带中的空穴数,或反之。在GaN激光器中,我们主要关注的是n>p的情况。当外部电场作用于激光器时,电子从导带底部被推向高能态,而空穴则从价带顶部被推向低能态,这个过程称为电注入。在无外部注入的情况下,半导体中的电子和空穴数量相等,系统处于热平衡状态。然而,一旦满足粒子数反转的条件,激光器便具备了产生激光的基础。
其中,0和0分别代表导带和价带中的平衡载流子浓度,而和则分别对应导带底和价带顶的能量。此外,表示费米能级,为玻尔兹曼常数,而则代表温度。在外部电场的作用下,电子和空穴会被注入到有源层中,其浓度分别变为n和p。当注入的电流达到一定强度时,将满足以下条件:
其中,和分别代表导带和价带的有效态密度。为了达成粒子数反转,所需注入的电流必须达到一定强度,使得费米能级向导带方向移动,进而使得(导带中的电子浓度)大于(价带中的空穴浓度)。这一过程可以通过以下条件来具体描述:
激光器的阈值电流ℎ可以通过以下公式进行计算:
其中,代表电子电荷,而则表示有源区的横截面积。在实际应用中,阈值电流通常以电流密度ℎ的形式来表示。
综合上述因素,我们可以进一步推导出阈值电流密度的表达式。
由此,我们可以推导出阈值电流密度ℎ的具体表达式。为了确保激光器的增益超过损耗,我们必须满足以下条件:
其中,代表腔内损耗,而则表示输出耦合损耗。
接下来,我们将探讨GaN激光器的谐振腔理论。
这一理论基于光学谐振腔的原理,核心在于如何在激光器中构建并维持光振荡。激光器的谐振腔作为一种光学结构,通过两个或多个反射面之间的多次往返,实现对光信号的放大。这种结构通常由部分透射的镜子组成,为光波的稳定振荡提供了必要条件。要满足这一条件,光波的波矢必须符合特定的关系。
其中,代表光波的波长,是谐振腔的光学长度,而作为整数,象征着模式的阶数。在谐振腔内,光波的振荡模式可以是横向模式(如TEM模式),也可以是纵向模式(例如TE或TM模式),或是它们的结合。特别是在半导体激光器中,横向模式备受关注,因为它们在激光器波导的垂直方向上展现了稳定的电场和磁场分布。
半导体激光器工作原理是激励方式,利用半导体物质(即利用电子)在能带间跃迁发光,用半导体晶体的解理面形成两个平行反射镜面作为反射镜,组成谐振腔,使光振荡、反馈,产生光的辐射放大,输出激光。
半导体激光器是依靠注入载流子工作的,发射激光必须具备三个基本条件:
1、要产生足够的粒子数反转分布,即高能态粒子数足够的大于处于低能态的粒子数。
2、有一个合适的谐振腔能够起到反馈作用,使受激辐射光子增生,从而产生激光震荡。
3、要满足一定的阀值条件,以使光子增益等于或大于光子的损耗。
二、半导体激光器和光纤激光器一样吗?
半导体激光器和光纤激光是不一样的。
1、介质材料不同
光纤激光器和半导体激光器的区别就是他们发射激光的介质材料不同。光纤激光器使用的增益介质是光纤,半导体激光器使用的增益介质是半导体材料,一般是砷化家,钢家申等。
2、发光机理不同
半导体激光器的发光机理是粒子在导带和价带之间跃迁产生光子,因为是半导体,所以使用电激励即可,是直接的电光转而光纤不能够直接实现电光转换,需要用光来泵浦增益介质(一般用激光二极管泵浦),它实现的是光光转换换。
3、散热性能不同
光纤激光器散热好,一般风冷即可。半导体激光器受温度影响非常大,当功率较大时,需要水冷。
4、主要特性不同
光纤激光器的主要特性是器件体积小,灵活。激光输出谱线多,单色性好,调谐范围宽。并且其性能与光偏振方向无关器件与光纤的耦合损耗小。转换效率高,激光闻值低。光纤的几何形状具有很低的体积和表面积,再加上在单模状态下激光与泵浦可充分耦合。
半导体激光器易与其他半导体器件集成。具有的特性是可直接电调制,易于与各种光电子器件实现光电子集成,体积小重量轻,驱动功率和电流较低,效率高、工作寿命长,与半导体制造技术兼容,可大批量生产
高亮度与高能量密度:由于其高度的方向性和相干性,半导体激光器能够在较小的光斑面积上集中极高的能量,其亮度可比普通 LED 高出几个数量级。这使得它在需要高能量密度照射的应用场景中具有无可替代的优势,如激光切割、激光焊接等工业加工领域。
远距离传输特性:极小的发散角使得半导体激光器发射的激光在远距离传输过程中能量损失小,能够实现长距离的光通信、激光测距等应用。例如在光通信中,半导体激光器作为光源可以在光纤中实现高速、长距离的数据传输,而普通 LED 由于光发散严重难以满足此类需求。
高相干性:半导体激光器的高相干性使其在干涉测量、全息成像等光学精密测量和成像领域发挥着重要作用。相干性好的激光可以产生清晰稳定的干涉条纹,用于高精度的长度测量、表面形貌检测等。





