EUV能成就中国芯之梦吗？

中兴通讯受美国政府制裁一案，为大陆高端芯片的自主拉起警报，大陆自官方到民间无不立刻加大芯片研发的投资力度。日前有消息指，长江存储与中芯国际在近日突破海外封锁，先后从荷兰艾司摩尔(ASML)公司订购了两台总值近两亿美元的高端光刻机。

光刻机又称曝光机，是芯片制程最关键步骤“光刻”的核心机器。ASML则是全球高端光刻机的霸主，在该领域拥有全球90%的市占率。

每日经济新闻网报导，长江存储从ASML订购的一台光刻机已抵达武汉，这台光刻机价值7，200万美元。此外，外传中芯国际也向ASML订购一台价值高达1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机，预计于2019年初交货。

由于国际间有个“瓦圣纳协定”，该协定禁止向非缔约国出售敏感性高科技技术，其中包括向大陆出售高端光刻机技术，前述两笔交易因而引人注目。但报导指，ASML发言人向日经新闻驳斥该传闻，表示该公司对全球各地包括大陆客户一视同仁，对大陆晶圆厂商的出口不受协定限制。

美国政府4月中宣布，禁止美国公司向中兴通讯出售包括芯片等零组作后，外界普遍认为芯片将成为大陆科技崛起的致命伤。

业界专家指出，中芯国际在市场上仍落后于领先者两至三代技术，购买到目前最先进的EUV光刻机，虽然不能保证100%成功，但至少显示该公司自主研发的决心和动力。该光刻机一旦安装完成，将会大幅缩短工艺时程，并让厂商有能力尝试生产更复杂的高精度芯片。

上月26日，国家主席习近平到武汉视察时表示，要加快在芯片技术上取得重大突破。随后即有消息传，国家集成电路产业投资基金(俗称大基金)已接近完成1，200亿元人民币(下同)的二期募资，预计该笔资金将有更大比例的金额投入芯片设计等环节。