凭借MEMS传感器走向世界，Wacoh靠加速度及陀罗仪新技术取胜

从事加速度传感器及角速度传感器（陀螺仪，Gyroscope）开发及销售业务的日本Wacoh公司瞄准的下一个目标是力传感器，开发出了可定量测定三个轴方向受力的传感器。该公司以10万日元以下的价格推出了直径为10mm的小型产品，首先以配备在多种机器人上为目标。可在将部件插入开孔（嵌合）、研磨、安装连接器等有力反馈要求的工业用途中发挥作用。Wacoh的代表董事社长冈田和广说：“争取与加速度传感器及陀螺仪一样，使之逐渐成为智能手机等贴近生活的消费类产品的标准配置。”

       Wacoh开发的力传感器使用自该公司1988年创立以来一直在培育的MEMS技术。2012年秋季投放市场的直径10mm、高7mm的小 型产品为压电电阻型，根据多个压电电阻元件的电阻变化来检测受力造成的构造体的运动，从而计算出3轴的力量大小。可检测的力量大小最大为1kg左右（高度 方向的z轴上最大为10N）。这是为了应用于工业机器人，以取代以前要靠人工完成的作业。负载不超过额定值时，磁滞为3％以下。原来要想实现同样的功能， 需要使用60万～70万日元的传感器。而Wacoh的产品不同，传感器部分仅为9.8万日元，加上放大器部分也不过14.8万日元，价格很便宜。除了工业 机器人之外，Wacoh还期望能够用于服务机器人及医用机器等广泛领域。

       在工业机器人市场上，日本厂商占据大半江山，因此Wacoh将首先向日本厂商销售。将向所有日本厂商提供样品，挖掘力传感器能够发挥作用的用途。

       在应用于嵌合工序时，将带锥销的夹具与力传感器一起安装在机械臂的前端，即使将部件插入开孔时孔的位置出现偏移，也可根据夹具的力量来检测 偏移，加以修正。应用于研磨工序时，可用力传感器来检测原来靠人手感知的微妙凹凸变化。而且力觉传感器还可在手机机壳的研磨工序中派上用场。此外，在应用 于液晶电视组装工序时，力传感器还可在插入连接器的作业中发挥威力。该工序在人工操作时要靠“咔嗒”声和手的触感来判断是否准确插入。而利用力觉传感器 时，则根据插入力量的变化来判断，插入后不再施力。

       最近十年间，有十多家日本企业曾涉足加速度传感器及陀螺仪市场，不过其中多半都已撤出，现在欧美厂商席卷了市场。在加速度传感器及陀螺仪市 场，Wacoh主要是向日本厂商授权，而在力传感器方面，Wacoh将自己开拓市场，“通过检测最初出现在物理课本中的‘力’这一基本物理量的传感器来开 拓设备用途”。（记者：三宅常之，Tech-On！）