实现7μm线宽工研院与日本小森开发卷对卷超细线印刷技术

台湾研究机构工业技术研究院（ITRI，简称工研院）与日本大型印刷机厂商小森公司共同开发出了以卷对卷方式的凹版胶印取代触摸面板的部分量产工序的技术（图1）。台湾工研院表示，“以凹版胶印取代部分工序已有眉目。为了能使台湾触摸面板厂商在2014年将该技术用于量产，我们打算进行技术转让”。

台湾工研院和小森公司打算用该技术来替代的量产工序是，制作位于触摸面板外周部分的引线工序。尽管这部分引线的线宽/线间距为20μm/20μm，并不是很小，但目前大都采用光刻技术。如果改为凹版的胶印技术，就不需要在基板上涂覆光刻胶并剥离了。采用该技术的厂商可以减少设备投资、缩短制作时间（图2）。


图1 用凹版胶印机制作引线的触摸面板的实际工作情形。已在2013年8月30日闭幕的Touch Taiwan 2013/FPD International Taiwan 2013（主办：TDUA、日经BP等）上展出。（点击放大）

图2 凹版胶印可简化量产线（点击放大）
台湾工研院与小森公司采用PET、玻璃、PET与玻璃的混合材料以及聚酰亚胺作为基板材料进行了试验，“均获得了很高的合格率”（工研院），而且耐久性也不低。小森公司介绍说，“某客户在量产汽车电装品的部件时使用了我们公司的印刷机”。

两公司为了获得在构成手指检测电路的布线（使用Ag类材料的金属网）中采用凹版胶印技术的诀窍，目前正在反复进行实验。L/S能够达到6μm/300μm（图3）。工研院表示，“已经没有太大的技术问题。在量产线上使用凹版胶印机制作7μm/7μm布线的日子已不再遥远”（图4）。


图3 凹版胶印机还能制作触摸检测用布线（点击放大）

图4 制作7μm/7μm布线的实验生产线（点击放大）
小森公司为了实施实验，向ITRI出租了凹版胶印机，同时还派遣了技术人员。在与ITRI共同工作的过程中获得的知识产权将由两家共享。而且，小森公司将在ITRI的帮助下，向触摸面板厂商以及已成为全球大型企业的台湾柔性基板厂商等销售印刷机。（特约撰稿人：大槻智洋，台北科技市场研究，《日经电子》特约记者）