走在晶圆厂制程一步之先 汉微科蓝图擘画明确

束检测设备厂汉微科(3658)今举行上柜前法人说明会，总经理招允佳指出，汉微科在电子束检测设备的开发策略上，针对下一个晶圆制程世代领先开发，确保在新制程世代开始之前，汉微科已可供应半导体厂相应的检测设备。招允佳强调，未来数年之内，汉微科的产品蓝图相当明确，足以支撑汉微科的长期成长。

汉微科成立于2003年，主要产品是电子束(E-Beam)检测设备，看准晶圆制程缩微趋势方兴未艾，传统的光学(可见光与不可见光)检测设备将不敷制程持续缩微化的晶圆场所需，因此从成立以来即锁定电子束检测技术持续开发。

招允佳表示，随着半导体设计越发精密，制造难度也提高，半导体厂对于晶圆制程程序控制设备的需求也随之提高，从90奈米开始，到65奈米、40奈米，以及目前的32奈米与28奈米，汉微科在客户制程开发与量产的过程当中，给予其品质、良率的最佳后盾。未来汉微科也将继续往20奈米的制程设备推进，让电子束检测设备在晶圆厂的设备供应中持续扮演支援要角。

招允佳指出，汉微科有4成人力放在研发部门，就是要确保汉微科的设备技术要一直走在晶圆厂的量产制程前面。举例而言，在2006年晶圆厂展开40奈米制程研发时，汉微科已进展到15奈米的研发，而当今晶圆厂投入14奈米制程开发，汉微科更已开始钻研10奈米以下、甚至5奈米的检测设备布局。

值得注意的是，过去电子束检测设备主要是供应给晶圆厂的研发部门，作为先进制程世代的研发工具，不过随着晶圆厂推动往2X奈米、甚至1X奈米制程缩微，只要有少许缺陷(defect)就会造成晶圆厂良率下降，前段的晶圆缺陷检测更形重要，晶圆量产线上，也已浮现对于电子束检测设备的需求。

为了建立竞争对手的进入门槛，招允佳表示，汉微科掌握关键技术的智慧财产权，包括在专利与商标上的布局，目前在电子束检测设备有85%的市占率，未来还可望透过卡位各大半导体厂客户，让市占率获得持续提升。

汉微科去年合并营收年增73.3%至26.78亿元，获利更成长160%至6.54亿元，营收与获利同步创下新高纪录，全年EPS为10.87元；而今年Q1缴出营收9.14亿元、税后纯益2.74亿元，EPS 4.57元的成绩单。公司内部预期，Q2营运状况持平Q1，下半年更将有机会优于上半年。

目前汉微科年产能约达30台机台，今年下半年南科厂将进行扩产，预计明年产能开出，全年最大产能可达50台。公司也持续开发新的检测设备机台，由于目前电子束检测速度较慢，公司也在进行矩阵式电子束检测设备的研究开发，该型设备检测速度会是目前的倍数以上，预计2014年可以量产。