华虹宏力与矽睿科技联合打造新一代MEMS传感器

世界领先的8英寸晶圆代工厂之一，上海华虹宏力半导体制造有限公司（以下简称“华虹宏力”）和上海矽睿科技有限公司（以下简称“矽睿科技”）今天联合宣布，双方将深化合作，联合开发和生产新一代MEMS传感器。此举将进一步巩固双方的战略合作伙伴关系，并将进一步增强双方在MEMS领域的领先优势。

双方合作生产的第二款产品、拥有自主知识产权的加速度传感器QMA5981，已于近日成功上市。该款产品是矽睿科技基于华虹宏力8英寸MEMS工艺平台，自主研发的第一款三轴单芯片加速度传感器产品。这标志着矽睿科技和华虹宏力共同创导的“中国创造与中国制造”已开花结果，亦是双方强强联手，协同创新，进一步深耘MEMS传感器市场的又一次具体实践。

加速度传感器QMA5981具有内置自检功能模块，与市场上现有的同类产品相比，精度更高、可靠性更好，在同类产品中具有显著的竞争优势。该款产品将开启“智慧新生活”，可被广泛应用于可穿戴式系统等多个领域，例如：智能手机、平板电脑、智能手表、3D遥控器、智能家电、航模、汽车导航和智能停车场等。

随着MEMS产业在中国的蓬勃发展，华虹宏力正加快MEMS传感器芯片制造工艺的研发，致力实现MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容。华虹宏力将充分利用其业界领先的嵌入式存储器、射频以及超低漏电CMOS技术工艺，针对不同的传感器应用，配以兼具功耗和面积优势的嵌入式存储器IP，以减小系统功耗，并降低芯片成本，同时也使MEMS设计可更为灵活，应用空间更为广阔。

矽睿科技首席执行官谢志峰博士说：“该款产品具有小尺寸、低功耗、高精度的优异特点，并内置智能体感算法，更适用于智能可穿戴领域。最为重要的是，矽睿科技和华虹宏力共同创导的‘中国创造与中国制造’逐渐显现其技术和资本优势，成为全球MEMS市场上的一支新兴力量，满足客户对于低成本和高性能MEMS传感器日益增长的需求。”

华虹宏力执行副总裁傅城博士说：“该产品的成功上市，是双方深化战略合作取得的重要成果。我们将全力支持矽睿科技，助其实现引领MEMS传感器市场的发展目标。同时此项合作，也给我们带来了扩大MEMS制造业务的重要机遇。华虹宏力凭借先进的制造工艺和领先的嵌入式闪存等技术，在MEMS领域与客户的合作已有良好的开端，我们正在加快工艺研发和量产，完全有能力提供更精良的工艺和优质的服务。”