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[导读]目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测,未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势,年平均增加率约为18%,营收的复合年增长率约为20%,出货量的复

目前MEMS市场的主导产品为压力传感器加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测,未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势,年平均增加率约为18%,营收的复合年增长率约为20%,出货量的复合年增长率约为13%,到2017年全球MEMS市场规模可达210亿美元。对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。(责编:Anna)

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