MEMS技术+器件向极端应用市场快速发展

微机电技术的商用可以说是从汽车的安全气囊和定位陀螺仪起家，如今正快速向消费类电子设备、工业、医学、航空航海、农业等各行各业渗透，而随着ADI这类厂商不断推出革命性的创新产品，MEMS器件开始蚕食以往昂贵的传统技术部件所占据或者以往尚处于概念阶段的极端应用领域运动检测市场。

极端应用领域是什么概念？简单来概括，就是应用环境较恶劣，对可靠性、精度等性能指标要求较高的各类应用，如复杂的平台稳定控制，制导、导航、追踪，无人驾驶车辆，应急响应导航，机器人，精密医疗仪器等等。针对这些应用的运动检测，那些用于所谓酷炫智能手机或游戏机的消费级运动传感器是远远不够资格的，往往需要达到战术级（零偏稳定度低于10o/小时）的传感部件。

“火灾现场消防人员的追踪、微创手术刀的人体内精密导航、隧道内车辆精确导航、大型机床的探伤和修复……，高性能的战术级MEMS创造了巨大的想象空间，将对未来的科学技术、人类社会的生产生活产生深远的影响。”ADI公司MEMS产品线高级应用工程师赵延辉在最近的一场MEMS IMU新产品发布会上表示。

图1：MEMS在性能和集成度上不断进步，快速进入更广泛的应用中，包括各种极端应用。

这场新产品发布会的“主角”就是ADI公司最新推出的第三代iSensor MEMS IMU（惯性测量单元）——ADIS16488战术级10自由度(DoF)传感器，以及ADIS16136战术级iSensor 精密单轴数字MEMS陀螺仪，这些新产品系列可帮助实现上述对性能和可靠性具有更高要求的各种极端应用系统。

在将MEMS技术与优势的信号调理及信号转换技术结合方面，ADI公司集成加速度计在汽车安全气囊的弹出控制领域长期占据优势地位，MEMS惯性传感器的出货量已超过2亿支，在不久前又发布了业界第一颗采用MEMS技术，工作温度可达175°C的双轴加速度计ADXL206。目前ADI的高性能MEMS传感器核心产品系列包括：iMEMS加速度计和陀螺仪、iSensor智能传感器和惯性测量单元(IMU)、以及iMEMS模拟和数字输出麦克风IC。

iSensor系列产品可以简单理解为一种模块产品，在单个封装中集成了iMEMS元件和其它信号调理/处理/补偿/校准元器件和电路，这些元器件均已经过独特而全面的工厂校准，能够在最恶劣的环境下提供无与伦比的精度，也可帮助客户节省设计和校准的复杂度、时间和成本，开发风险大大降低，从而加速很多新应用的研究开发。

10自由度、1/10成本，高精度、抗恶劣环境

例如，最新一代iSensor IMU ADIS16488的特点是在单封装中集成了一个三轴陀螺仪、一个三轴加速度计、一个三轴磁力计和一个压力传感器，是一款完整的惯性测量系统，比ADI前一代10自由度产品在精度和性能上有很大提升，体积更小、更薄。除了重要的战术级（低于10o/小时）零偏稳定度指标以外，在重力加速度效应、温度系数和带宽等一般更重要的特性方面，ADIS16488同样超过所有其它同类陀螺仪/IMU产品，改善最多可达100倍。此外，在对线性加速度和振动加速度抑制方面，这款IMU甚至超过传统军用级IMU，可支持高性能导航和平台稳定控制应用的严格要求。

ADIS16488完全自主工作，包括所有嵌入式补偿，通电后500 ms就能从SPI接口获得有效数据。所有校准均在工厂完成，嵌入式滤波和其它诊断由ADI Blackfin 处理器控制的可配置接口进行调整，因而设计集成的大部分时间和风险得以消除。

另外，该模块还有一个表现出色的特别参数：振动校正(0.0001 o /s/g2)，这个参数在客户进行器件评估时往往不会考虑到，但系统实际应用测试时就会体现出来，是保持系统在振动环境下，依然保持理想输出的一个决定性指标参数，也是无法校准的。

表1：ADIS16488代表了MEMS IMU在性能和鲁棒性上的突破性提升。

“相比于一些传统方式实现的高端IMU，ADIS16488在零偏稳定度和角度随机游走等关键指标的性能与之相当或更好，而对振动校正、线性度和带宽等一些更重要的参数，ADIS16488能够提供更优越的性能，并且功耗仅为其1/4，成本仅为其1/10。”赵延辉指出。