旭瑞光电将采用诺发PECVD LED镀膜系统生产金属基垂直结构高效LED

近日，诺发公司宣布其已向旭瑞光电公司提供了一台VECTOR（R）型等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备。旭瑞光电是一家位于佛山的合资公司，其股东之一是世界领先的高亮度LED生产企业——美国旭明公司（Semileds Corporation ）。这台新的VECTOR将被安装在佛山旭瑞光电的生产车间里，用于生产金属基垂直结构高效LED。

每晶片成本和每流明成本是驱动主流照明市场接受LED技术的关键因素。现有LED制造技术，主要是基于2—4英寸不同直径的蓝宝石衬底进行外延生长，这种方法本身生产效率低、能量消耗大，制备一片2英寸蓝宝石衬底LED，平均消耗的电能高达200kWh。

与传统LED镀膜设备相比，VECTOR系统在行业处于领先地位，因为它拥有宽的工艺窗口和高产能，使LED的每晶片成本得以下降。VECTOR LED镀膜系统中有一个多晶片载体装置，能够放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，产能巨大，且沉积的各尺寸薄膜质量和均匀性都很好，此外，VECTOR LED系统是在较低温度下沉积薄膜，这与传统LED用PECVD设备相比，生产过程易于控制且高效节能。

“这种新型VECTOR LED镀膜系统是LED芯片制造产业中最具生产力的PECVD系统” 诺发电介质和PECVD事业部高级副总裁兼总经理Mr. Sesha Varadarajan表示，“我们非常高兴VECTOR LED系统，包括我们的光阻去除、物理气相沉积、电镀以及晶片抛光和减薄系统解决方案，能够进入旭瑞光电现有的LED芯片生产线中”。

“我们一直在努力提高产能和能效，所以我们佛山旭瑞的工厂里采用VECTOR LED系统”旭瑞光电公司总经理Mr. Marco Mora说，“诺发公司在中国的基础架构和服务能力，让我们相信，选择诺发作为旭瑞光电的供应商是非常明智的。”