MOCVD测量设备：化“产能”为“效率”

随着国内LED产业上游外延片、芯片产品的规模不断扩大，人们也将目标投降了一个新的问题——外延片的良率。外延片的良率受到许多因素的影响，如果在外延制程中，在线进行检测，就可以及时调整生长过程中的温度等参数，降低外延片的弯曲度，提高产品的一致性，而非在产品生产后经过测试才发现问题，造成材料的浪费。

据有关数据显示，2013年全球50%的LED产能都集中在中国大陆和中国台湾，然而，LayTec AG全球市场与销售总监Tom Thieme表示，产能并不能与效率直接对等。

据悉，一些国外大厂的批次生产时间约为5小时，尺寸主要为4吋和6吋产品;而国内厂商的批次时间则为10小时，尺寸也集中在2吋和4吋为主。因此，LayTec AG也一直关注中国地区的LED外延片的良率，并希望帮助企业降低成本。

目前，大多数中国地区大多数外延片厂商中，都采用红外测量的方式，但这种方式在某些波段将有可能出现测量误差。

此外，对于高亮度LED来说，由于其结构复杂，每一层的均匀性和厚度都有可能影响最后的发光效率，因而企业亟待通过更稳定、可靠的测量手段，在制程工艺内部进行在线分析，从而改善技术、提高产品良率，并降低成本。

Tom Thieme表示，中国LED企业目前最重要的是将产能转化为效率，发展可持续的LED产业供应链，才能保持中国作为LED制造大国领先地位。在过去Laytec的发展中，有60%的营业收入是来源于LED相关的设备，而在这当中，日本、韩国一直是重要的市场，随着中国MOCVD数量的增长，以及市场对国产产品性能要求的提高，中国也将成为Laytec重要的市场。

据了解，早在2012年，LayTec AG就嗅到6吋MOCVD设备的市场份额将会急速扩大，并适时推出了安装到反应炉中的现地量测仪器，可以确保晶圆的平整度，以提高良率。Tom Thieme表示，该产品可使LED波长的一致性可达到±3纳米。预计，LayTec AG将在2015年实现将波长一致性控制在±1纳米的目标，这也将有效帮助LED外延芯片企业加快提升良率，以缩减成本。