全球首台超级针X射线成像系统问世，填补国内IC产业空白

集成电路产业是一项高门槛高投入的产业，不仅体现在IC设计上，而且也体现在IC的生产设备上，很多IC生产设备都把控在国际有限的几家厂商手中。

最近，记者从中国电科38所获悉，经过多年技术攻关，由该所自主研制的全球首台超级针X 射线成像将在月底开幕第92届中国(上海)电子展正式发布。

随着我国集成电路产业快速发展，对集成电路封装检测装备需求日益凸显，而我国此类设备以中低端产品为主，高端设备则主要依赖国外进口，严重制约了我国集成电路产业的发展。目前国际上可生产亚微米级分辨率设备主要由美国、日本、欧洲等国家地区的几家企业生产。随着芯片制造及封装过程中越来越多地使用轻元素材料，对设备应用场景要求更加多样化。更高分辨率、更高对比度、更大检测范围的X射线检测装备已成为行业急需。

中国电科38所面向封装检测行业急需，自主研制了国内首个具有完全自主知识产权的高端微焦点X射线成像系统—超级针X射线成像系统。该系统基本工作原理是通过X射线管产生X射线，利用射线穿过物体过程中吸收和散射衰减性质，在图像增强器上形成被扫描物体的透视图像。区别于传统的 X射线源技术，该设备采用国际首创的超级针X射线源，因而以“超级针”冠名。

据悉，超级针X射线成像系统性能可媲美国际最先进产品，系统分辨率小于1微米，同等分辨率下，对比度是国外产品的3倍以上，成像更清晰，检测更可靠，使其具有“火眼金睛”般的缺陷检测能力，让缺陷无所遁形。此外，超级针X射线成像系统还具备强大的低能成像能力，使其在轻元素材料精密检测方面优势突出，远超国外同类产品，填补国际空白。目前，中国电科38所针对该产品及相关技术，已申请20余项国内外发明专利，其中11项已获得授权。

中国电科38所相关负责人表示，超级针X射线成像系统为国际首创，标志我国在此领域已位于世界前列，将有助于提升我国集成电路封装检测技术水平，尤其是在轻元素材料精密检测方面，具有强大的国际竞争力。

希望，这样的设备能尽快投入使用，提升国内半导体集成电路生产能力。