吉时利发布半导体特性测量系统

吉时利仪器(Keithley Instruments)宣布推出可发生与测量脉冲的Model 4200-SCS半导体特性测量系统——PIV (Pulse I-V)套件。这是该公司Model 4200-SCS新增的选购套件，可执行实验室级的直流元件特性测量及实时制图，并以高精密度和sub-femto安培的分辨率进行分析，适用如高K值材料、热敏元件及高阶内存等。该公司表示，当半导体科技发展到65nm节点及更高阶，测量技术除了直流输出-测量之外，必须更有效地测量新材料与新元件的特性，因为诸如高K电荷捕获及SOI (solicon on insulator)元件会自我发热。虽然研发者已认识到脉冲测试的重要性，但却没有商品化的解决方案可执行简易、精确及可重复性的脉冲测量。Model 4200-SCS PIV套件具有脉冲功能，整合了脉冲发生、脉冲测量，并结合申请专利中的软件及简化的待测元件导线连结，提供有效解决方案。用户不需使用一堆设备来测量、连接复杂的线路，或使用自行发展的软件及不准确的测量结果。PIV套件是建构在新的双频道脉冲发生卡，其特点是两个独立的频道，具有1Hz至50MHz的频率范围。可产生一个只有10纳秒(nanoseconds)的脉冲，可对SOI元件及其它65nm以下的元件及工艺实现等温脉冲测量，其脉冲边缘对于电荷捕获、AC应力测试、和储存器件测试，可精确输出与测量。用户可以控制数个脉冲参数，如脉冲宽度、工作周期、上升与下降时间、振幅和偏移量。该套件组合中的软件也可以控制脉冲的设定，并驱动双信道脉冲产生器，触发及执行脉冲测量，搜集和显示数据。PIV套件中还包括执行pulse IV和电荷捕获的测试程序示例，可节省软件研发时间及成本。此外，双频道脉冲发生卡也可当作一个集成在Model 4200-SCS上的脉冲发生器。一般用途脉冲发生器适合应用于失误分析、电荷泵、闪存测试及时钟发生。脉冲发生卡包含的软件具备易用的图形操作界面。