Agilent推出下一代参数测试软件

Agilent 公司近日发布适用于 Agilent B1500A 半导体器件分析仪的下一代 EasyEXPERT 参数分析软件。EasyEXPERT 2.0 为半导体器件表征提供直观和面向任务的方法。它可用于在非生产应用中，如工艺流程开发、建模、可靠性和缺陷分析中测试器件。Agilent 还推出了 Desktop EasyEXPERT 2.0，该软件允许用户在基于 MS Windows® 的PC 上快速和容易地开发应用测试和执行数据分析。用户现在第一次实现了在他们的参数分析仪上和在台式 PC 上运行同样的参数测试软件，从而为实验室和工作台上的参数测试建立无缝的实验室和开发环境。Agilent Hachioji半导体测试事业部副总裁兼总经理Minoru Ebihara 说：“EasyEXPERT 2.0 和Desktop EasyEXPERT 2.0 为在实验室环境工作的工程师提供原先只有参数测试生产环境才具有的能力。从我们去年推出以来，EasyEXPERT 的直观方法已被业内广泛接纳。我们预期该版本的强大新能力与 Desktop EasyEXPERT 选项的结合，将能帮助我们客户进一步提高他们的生产能力。”EasyEXPERT 2.0 所具有的新能力包括新的快测试模式，为Agilent B2200A 和 B2201A 改进的开关矩阵控制功能，以及新的自动数据输出选件。这些特性使从事半导体工艺流程表征和开发的工程师和科学家能通过自动化的方法完成过去许多需要手工执行的任务，如对园片的重复测量和用图形方式比较结果而提高效率和降低成本。到目前为止，EasyEXPERT 还只能在 Agilent B1500A 半导体器件分析仪上使用，它已从 2005年 8月开始出货。对于新发布的EasyEXPERT 2.0，Agilent 将为新的和现有的 Agilent B1500A 客户提供该软件的免费版本 Desktop EasyEXPERT 2.0。 Desktop EasyEXPERT 2.0在基于 MS Windows的PC上运行，使用户能快速和容易地开发应用测试和执行数据分析。由于Desktop EasyEXPERT允许用户把这些功能移到独立的 PC上，因此就能几乎 100% 地利用 B1500A 的测量资源。如果 PC 上已安装 Agilent I/O 库和 GPIB（通用接口总线），那么就可用 Desktop EasyEXPERT 2.0 从外部控制B1500A。 EasyEXPERT 2.0 中新的快速测特性提供高效的自动测试环境，使用户能使用驻存在半自动晶园片检测器上的园片图同步测试序列。这就能加快原来复杂和费时的过程和降低测试成本。EasyEXPERT 2.0 也可改进Agilent B2200A 和 B2201A 开关矩阵的控制功能。使用户能容易地在被测器件（DUT）间切换，以及用快速测试模式自动化模块内的 DUT 选择。用户还能利用新的自动输出能力，对使用交互或快测试模式得到的数据精确选择文件名、数据格式和目标，从而增强数据管理能力。由于Desktop EasyEXPERT 是在标准 PC 上运行，由此用户能完全控制 PC 的硬件配置和符合公司认定的 IT 标准。预期Desktop EasyEXPERT 的未来版本将支持在半导体工艺流程表征中使用的其它 Agilent 仪器。就像在 B1500A 上驻存的该 EasyEXPERT 版本一样，Desktop EasyEXPERT 支持 GPIB 通信，因此用户能用 GPIB 命令直接控制其它仪器。除了改进的诸多特性外，EasyEXPERT 2.0 还包括新的转换工具，因此 Agilent 4155 和 4156 半导体参数分析仪的当前用户在升级到 B1500A 时，可把它们的设置文件输入到 EasyEXPERT 环境。这样就可不必重建这些文件，也就能最小化转换成本，使用户能很快开始使用 B1500A。EasyEXPERT 2.0 预期在 2006年5月1日供货。到那时，现有 B1500A EasyEXPERT 1.0 用户可进入 www.agilent.com/see/B1500A下载免费的软件升级。Desktop EasyEXPERT 原版本也为现有和未来 B1500A 客户免费提供。Agilent EasyEXPERT 软件简介Agilent EasyEXPERT 软件为器件表征提供创新和面向任务的方法，从而使每一位用户都成为参数测试专家。该 EasyEXPERT 软件提供器件应用测试库，因此用户只需选择所要求的测量类型。在进行少数几项选择，如确定分类技术和适宜的器件类型后，软件就选定适合的设置，进行测量、分析和显示数据。EasyEXPERT 能让初学者立刻在 B1500A 上进行高效率的测量。EasyEXPERT 软件包括在 Agilent B1500A 和 Desktop EasyEXPERT 中。Agilent B1500A 简介 Agilent B1500A 是带EasyEXPERT 软件的Windows 基半导体器件分析仪，它采用新的方法表征半导体器件。B1500A 把电容 vs. 电压（CV）和电流 vs. 电压（IV）测量集成在同一仪器中，从而为半导体测试工程师节省时间和提高效率。Agilent B1500A 为 65nm 制板和纳米技术及更高器件的参数表征和分析提供完全、配套和可扩展的解决方案。Agilent B2200A and B2201A简介 B2200A 和 B2201A 高性能开关主机提供低电流泄漏和电容测量能力，在这两个产品中您不会遇到其它解决方案常遇到的限制。达1 fA (B2200A) 和 10 fA (B2201A) 的测量能力意味着能够充分发挥半导体参数分析仪的性能。模块化结构支持12, 24, 36 和 48 路输出，可得到最大的灵活性。LED 显示和通过键区或可选光笔的前面板控制提供了灵活的操作者控制。