从小作坊到垄断EUV光罩检测，这家日本公司靠什么做到的？

时间：2023-01-09 19:40:02

关键字： EUV光刻半导体 AMD

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[导读]看似不起眼的“小公司“Lasertec，却是世界上唯一一家为极紫外光刻（EUV光刻）制造测试设备的公司随着今年半导体行业并购案的不断增加，由此也产生了许多行业巨头，如AMD收购赛灵思，英伟达收购ARM后的公司都成为了行业内排名前列的巨头。

看似不起眼的“小公司“Lasertec，却是世界上唯一一家为极紫外光刻（EUV光刻）制造测试设备的公司随着今年半导体行业并购案的不断增加，由此也产生了许多行业巨头，如AMD收购赛灵思，英伟达收购ARM后的公司都成为了行业内排名前列的巨头。

但半导体行业除了这些巨头外，也有一些小而精的公司，如Marvel收购的Inphi，他们不追求多点开花，只专研一个领域甚至一个产品，持续深耕，耐得住寂寞，最后成为行业不可取代的存在。

日本的Lasertec也是这样一个公司。看似不起眼的“小公司”Lasertec，却是世界上唯一一家为极紫外光刻（EUV光刻）制造测试设备的公司，三星台积电均用其EUV检测设备生产芯片。

说到光罩检测，可能大家首先想到的是美国半导体设备产商KLA，但日本的Lasertec其实在这一领域也深耕多年，具有好不逊色的技术和产品。

根据Lasertec官网显示，其成立于1960年，成立之初只是一家生产X-射线电视系统的小作坊，后经过60多年的发展，目前其已经成长为从事检测和量测设备领域的领先开发商，主要提供半导体（晶圆/光罩）与LCD检测机台产品，太阳能电池相关设备与印刷电路板安装检测设备等，六十多年只专注于检测这一块。

虽然Lasertec目前在半导体行业还只是一家名不见经传的小公司，但它已经成为包括台积电、三星、英特尔等行业巨头不可或缺的伙伴，今年，它还获得了英特尔一年一度的供应商奖。

EUV光刻制造测试设备“独苗儿”

到底是怎样的技术和产品让Lasertec如此独特且无可取代？

那就是针对EUV光刻的检测技术。

目前的芯片制程已经推进到了7nm，5nm，之前的DUV光刻已经不能再满足这些先进制程的制造需求，而需要采用EUV光刻技术，但如果在制造过程中出现缺陷，将会对良率造成极大伤害。

Lasertec早在2017年就掌握了关键技术，制造出了可以用来检测空白EUV光罩内部缺陷的设备，而台积电还是在2018年4月进入7nm芯片的量产阶段，而三星则是在2020年早些时候才开始量产7nm芯片。2019年，Lasertec又推出了对已印有晶圆设计的模板进行检测的设备，成为了这一领域的垄断者。

之所以Lasertec能取得目前的成就，可以从Lasertec创立初始就信奉的工程师理念，即“每年为世界带来一个全新产品”，可窥一二，这种发展理念贯彻至他们员工每一天的工作中。Lasertec只专注于一个领域的持续研发，并及时了解市场需求，开发客户所需的技术和产品。

在光学检测领域，在1976年，Lasertec就成功研发了全球首台自动LSI光罩检测系统，这一系统为Lasertec之后的快速发展之路奠定了基础。2017年，Lasertec针对最先进制程发布了他们经过6年研发的EUV空白光罩检测系统ABICS E120，这和KLA推出其FlashScan空白光罩检测产品线的时间线相当。

ABICS E120

先进的技术也帮助公司的收益和股价一路攀升。根据彭博社的报道，Lasertec股价自2019年初以来，已增长了550%。而在其刚刚公布的2020年7月-9月三个月的财报显示，这三个月Lasertec的销售额达到了131.65亿日元，而2019年同期的销售额则仅为55.42亿日元，增长了超过两倍。相信，随着之后5nm制程的不断推进，Lasertec未来的盈利增长空间还非常巨大。