液体粘度传感器小型化,日本产综研利用MEMS技术实现 时间:2013-07-08 05:35:00 关键字: 传感器 MEMS技术 BSP MEMS 手机看文章扫描二维码随时随地手机看文章 [导读]日本产业技术综合研究所开发出了基于MEMS(微电子机械系统)技术的粘度传感器,并在“日本Nano Micro Business展”(东京有明国际会展中心,7月5日闭幕)上进行了展示。 从玻璃容器中取出的粘度传感器 日本产业技术综合研究所开发出了基于MEMS(微电子机械系统)技术的粘度传感器,并在“日本Nano Micro Business展”(东京有明国际会展中心,7月5日闭幕)上进行了展示。 从玻璃容器中取出的粘度传感器(点击放大) 表示传感器构造的模型(点击放大) 该传感器的尺寸小于机械式粘度传感器,设想的用途为安装在设备的管道内进行实时测量。 传感器部分采用双螺旋形状,浸入液体中使用。一层螺旋在外部磁铁的作用下振动,另一层螺旋则在液体的粘性作用下运动,根据运动的程度测量液体粘度。该传感器收纳在USB存储器大小的不锈钢外壳中。(记者:三宅 常之,Tech-On!)