日本东北大学的MEMS用试制Coin Laundry将在10月正式启用

日本东北大学的微系统融合研究开发中心2010年4月开设的MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）“试制Coin Laundry”，从目前半导体制造装置的维护状态来看，预计可在今年10月前后正式启动。这一消息是东北大学原子分子材料科学高等研究机构的江刺正喜教 授在7月28日举行的“东北大学—产综研联合公开演讲会”上公布的。

试制的Coin Laundry是一个以合理的费用向企业等开放以MEMS用途为中心的半导体试制装置和试产线，向众多企业提供MEMS试制设备群。在半导体企业中，有一 些企业虽然拥有MEMS试制技术，但是没有高价位的生产工艺装置，因此不得不委托外部试制。此次试制的Coin Laundry将向此类企业提供可以自己试制MEMS的场所。另外江刺教授还介绍说，“即使自己目前没有设备，也可以确保培养自己的MEMS设计及制造技 术人员的机会”。

此次Coin Laundry将实行不从企业接受委托研究的方针。原因是此次的Coin Laundry是一个用来让用户企业提高自己的设计及制造技术的场所。江刺教授介绍说，通过完善此次的MEMS试制Coin Laundry，“将可以大幅降低MEMS的开发风险和成本”。据江刺教授介绍，由于可以有效利用东北大学等拥有的MEMS试制经验等，因此能够运用降低 开发风险的具体措施。

当不具备MEMS设计及制造技术的企业希望进行MEMS试制时，还有另一个选择：即由东北大学创建的风险企业——MEMS CORE公司（仙台市）接受委托开发。该公司是微系统融合研究开发中心的赞助企业之一。

原财团法人半导体研究振兴会（2008年3月解散）将大楼和半导体生产线等捐赠给了东北大学，后作为西泽润一纪念研究中心重新启用，该试制Coin Laundry就设在大楼二层的洁净室（1800平米）内。Coin Laundry将用来放置约1000平米的半导体制造装置和4/6英寸的半导体试产线。虽然试生产线拥有晶圆清洗、光刻、成膜、蚀刻以及测量工序等主要装 置，但是由于曾有一段时间未启动的缘故，因此目前正在检测与维护装置以便重新启用。

江刺教授是从今年开始实施的日本文部科学省最尖端研究支援项目“微系统融合研究开发”的核心研究成员，因此该试制Coin Laundry“将隶属于最尖端研究支援项目”。Coin Laundry的运营负责人由微系统融合研究开发中心的户津健太郎准教授担任。（特约撰稿人：丸山 正明）