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[导读]台积电(2330)与荷兰商MAPPER日共同宣布,MAPPER安装在台积公司晶圆十二厂超大晶圆厂的原型机台正不断地重复写出超威小电路组件,系先前使用浸润式微影技术所无法达到的成果。 台积电表示,过去几个月来,台积扩充了

台积电(2330)与荷兰商MAPPER日共同宣布,MAPPER安装在台积公司晶圆十二厂超大晶圆厂的原型机台正不断地重复写出超威小电路组件,系先前使用浸润式微影技术所无法达到的成果。 台积电表示,过去几个月来,台积扩充了无光罩微影技术的研究团队,并与MAPPER公司的工程师们一同在晶圆十二厂里合力将电子束直写能力整合至制程中,以供未来更先进的技术世代使用。



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