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[导读]无论是挥动一支无线指挥棒,指挥一个虚拟的交响乐团,把沉闷的理疗变成一次互动娱乐体验;还是一改传统的手机菜单浏览方式,用倾斜机身取代按键操作,被称作MEMS(微机电系统)的运动感应技术正在颠覆便携设备和消费

无论是挥动一支无线指挥棒,指挥一个虚拟的交响乐团,把沉闷的理疗变成一次互动娱乐体验;还是一改传统的手机菜单浏览方式,用倾斜机身取代按键操作,被称作MEMS(微机电系统)的运动感应技术正在颠覆便携设备和消费电子产品世界,意法半导体(纽约证券交易所代码:STM)是这场变革的领导者。据市场分析公司 iSuppli的调查,意法半导体的MEMS在便携设备和消费类产品中的销售收入,从2007年的9600万美元,增长到2008年的2.09亿美元,增幅高达118%,成为这个高速增长的新兴市场上的第一大供应商,意法半导体MEMS产品的主要收入多半来自任天堂的Wii、个人电脑自由落体检测(如富士通西门子的ESPRIMO系列产品)、Gyration Air Mouse公司的空中鼠标、先进智能手机等应用。

“这一成功证明我们的MEMS愿景是正确的,几年前,我们认为新型MEMS技术能够创造激动人心的全新的消费应用,于是决定集中资源开发MEMS技术,”意法半导体产品部门副总裁兼MEMS与健康保健产品、射频技术和传感器产品分部总经理Benedetto Vigna表示,“在2006年以前,MEMS传感器的应用领域很窄,仅限于如安全气囊碰撞传感器等少数应用,因为体积庞大,功耗极高,成本昂贵,无法用于消费产品。”

通过设计开发新的MEMS结构,获取新技术的专利,在保证高性能的同时,缩小器件尺寸,提高可靠性,降低耗电量,意法半导体解决了前两个难题。为解决第三个难题,公司于2006年迈出大胆的一步,投资4000万美元建立世界最先进的MEMS生产线。 2006年11月,意法半导体在米兰近郊的Agrate地区落成一个200mm(8英寸)晶圆制造厂,专门制造MEMS产品,如加速传感器、陀螺仪和压力传感器

“得益于半导体器件的同步加工工艺,晶圆片的直径提高了50%,芯片数量增加了一倍多,同时,这种技术还大幅度降低了芯片的单位成本。”Vigna表示,“意法半导体是世界唯一拥有一条200mm生产线的MEMS厂商,这意味着我们能够为客户批量提供精确而可靠的产品,而且价格满足他们创造激动人心的全新消费电子应用的要求,这就是我们所做的一切。”

在MEMS线性运动传感器取得巨大成功后,意法半导体扩大了产品阵容,新增加了微型MEMS陀螺仪。这类传感器可检测倾斜和角速度,特别适合更复杂的游戏机、虚拟现实传感器、运动控制、指示设备,以及汽车导航功能,如航位推算和地图匹配等。

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