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[导读]在SEMI及会员公司的共同努力下,经过9个月的等待,美国联邦政府正式实施放宽刻蚀设备的出口条件,原来180nm的技术审核指标被正式放宽到了65nma。

SEMI及会员公司的共同努力下,经过9个月的等待,美国联邦政府正式实施放宽刻蚀设备的出口条件,原来180nm的技术审核指标被正式放宽到了65nma。

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