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[导读]NanoPhotonics与ISMI签订合约,将向ISMI出货两台用于450mm晶圆的缺陷检测设备。 这两台设备分别是Reflex MC 450和BevelCam MC 450,两台设备将和450mm设备前端模块一同集成于ISMI 450mm协同测试试验台。

NanoPhotonics与ISMI签订合约,将向ISMI出货两台用于450mm晶圆的缺陷检测设备

 

这两台设备分别是Reflex MC 450和BevelCam MC 450,两台设备将和450mm设备前端模块一同集成于ISMI 450mm协同测试试验台。

 

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