日本综合研究所利用爱思强系统成功在300mm晶圆上制得石墨烯

德国爱思强股份有限公司今日宣布，其BM 300系统在日本产业技术综合研究所（AIST）成功投入应用。该系统于2011年安装到AIST研究所设于筑波市的高级无尘室中，并由爱思强的当地服务支持团队进行调试。AIST研究团队的负责人佐藤信太郎（Shintaro Sato）博士在2012年4月10日的美国材料协会春季会议上，公布了实验生长结果。

“AIST成功在300mm的晶圆上生长出单分子层石墨烯，对于我们来说是一个重要的里程碑，”爱思强纳米技术设备总监Ken Teo博士表示，“BM 300是技术最为先进的石墨烯生产平台，拥有能够精准地输送前置物质成熟的气体输送系统、ARGUS原位晶圆热分布控制、高度均匀的晶圆加热器、自动化处理器等。在300mm的晶圆上实现高度可控且可重复的石墨烯沉积，是进行大规模的晶圆级石墨烯生产的必要步骤，并为新一代的半导体设施开发具有独特性质的石墨烯奠定了基础。”

“AIST成功在300mm的晶圆上生长出单分子层石墨烯，对于我们来说是一个重要的里程碑，”爱思强纳米技术设备总监Ken Teo博士表示，“BM 300是技术最为先进的石墨烯生产平台，拥有能够精准地输送前置物质成熟的气体输送系统、ARGUS原位晶圆热分布控制、高度均匀的晶圆加热器、自动化处理器等。在300mm的晶圆上实现高度可控且可重复的石墨烯沉积，是进行大规模的晶圆级石墨烯生产的必要步骤，并为新一代的半导体设施开发具有独特性质的石墨烯奠定了基础。”

佐藤博士带领AIST的团队将运用该系统沉积出限定层数的高质量石墨烯。这将是制造低电压CMOS FET加工技术的主要步骤，使其能够在低于0.3伏的电压下工作。

该项研究由世界领先创新科技研发资金计划（Funding Program for World-Leading Innovative R&D on Science and Technology，简称FIRST）投资，该计划旨在鼓励先进科技研发，以增强日本的国际竞争力，并通过分享研究成果，为社会和人民的福祉作贡献。FIRST计划经日本政府内阁办公室的综合科学技术会议于2009年批准，由日本政府内阁办公以及日本学术振兴会共同运营。这次晶圆加工研究在AIST研究所合作研究团队的绿色纳米电子中心（Green Nanoelectronics Center）进行，属于FIRST 计划的“绿色纳米电子核心技术研发”项目（核心研究员：横山直树（Naoki Yokoyama）博士）的一部分。绿色纳米电子中心成立于2010年4月，由来自学术界以及工业界的研究员组成。